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申请/专利权人：物联记忆体科技股份有限公司
摘要：本发明公开一种非挥发性存储器元件及其制造方法，该非挥发性存储器元件包括至少一存储器单元，该存储器单元包括一衬底、一选择闸极、一浮置闸极、一浮置闸极盖层和一抹除闸极。该选择闸极设置在该衬底上。该浮置闸极设置在该衬底上，并与该选择闸极侧向隔开，其中该浮置闸极包括从一自上而下的视角观察形成一封闭形状的复数个顶缘。该浮置闸极盖层设置在该浮置闸极的一顶表面上，其中该浮置闸极盖层的一顶表面的面积小于该浮置闸极的一底表面的面积。该抹除闸极设置在该浮置闸极上，且该复数个顶缘中的一个或多个被该抹除闸极覆盖。一控制闸极被该抹除闸极覆盖。
主权项：1.一种非挥发性存储器元件，包括至少一个存储器单元，其特征在于，其中该至少一个存储器单元包括：一衬底；一选择闸极，设置在该衬底上；一浮置闸极，设置在该衬底上，并与该选择闸极侧向隔开，其中，当由一自上而下的视角观察，该浮置闸极包括形成一封闭形状的复数个顶缘；一浮置闸极盖层，设置在该浮置闸极的一顶表面上，其中该浮置闸极盖层的一顶表面的面积小于该浮置闸极的一底表面的面积；一抹除闸极，设置在该浮置闸极上，其中该复数个顶缘中的一个或多个被该抹除闸极覆盖；以及一控制闸极，被该抹除闸极覆盖，其中该浮置闸极位于该控制闸极与该选择闸极之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 物联记忆体科技股份有限公司 非挥发性存储器元件及其制造方法
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