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申请/专利权人：无锡影速半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了一种等压式分区吸附工作台，属于曝光设备技术领域。通过设置独立的抽真空共压腔，并通过抽真空管路连通每个工作区域对应的抽真空共压腔，使每个独立的工作区域在抽真空状态下，都处于同一腔体内，形成共压腔，从而保证每个独立工作区域在负压状态下的共压，解决现有技术每个独立工作区域在负压状态下压力不一的问题；通过设置抽真空控制气缸控制抽真空覆盖控制组件通断，实现最佳吸盘分区效果。
主权项：1.一种等压式分区吸附工作台，其特征在于，所述等压式分区吸附工作台从上到下依次包括：工作台面、工作平台主体和抽真空组件；其中，所述工作平台主体分为多个凹下区域，凹下区域之间通过凸出的台阶分割形成多个工作区域；工作台面位于工作平台主体的上面，二者紧密接触；各个凹下区域底面均设有抽真空贯穿孔；所述工作台面上设置有若干贯穿小孔；所述抽真空组件包括抽真空管路和多个抽真空覆盖控制组件，抽真空覆盖控制组件用于控制各工作区域抽真空通断；所述抽真空覆盖控制组件位于所述工作平台主体的下方；二者密切接触形成与多个工作区域分别对应的多个独立的抽真空共压腔；各个独立的抽真空共压腔之间通过抽真空管路相连通；每个抽真空覆盖控制组件包括一个封板，所述封板与工作平台主体密切接触形成与工作区域对应的独立的抽真空共压腔；封板上设有一个开口，封板上的开口处与抽真空管路相通；所述抽真空覆盖控制组件还包括用于控制抽真空管路与抽真空共压腔之间的通断的抽真空控制气缸；抽真空控制气缸上设置有密封圈。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡影速半导体科技有限公司 一种等压式分区吸附工作台
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