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申请/专利权人：三井金属矿业株式会社
摘要：制造第1被接合体11和第2被接合体13借助接合层接合而成的接合体。将包含铜颗粒和有机溶剂的糊剂涂布于第1被接合体11而形成涂膜12X。在涂膜12X上载置第2被接合体13而形成层叠体15。对层叠体15进行加热和加压，使涂膜12X中的铜颗粒烧结而形成接合层。逐渐增加地进行从加热开始温度起至达到最高温度Tm为止的加热，并且逐渐增加地进行从加压开始压力起至达到最高压力Pm为止的加压，并且将加热温度达到200℃时的压力设为15MPa以下。
主权项：1.一种接合体的制造方法，其是第1被接合体和第2被接合体借助接合层接合而成的接合体的制造方法，其包括：将包含铜颗粒和有机溶剂的糊剂涂布于所述第1被接合体而形成涂膜的工序；在所述涂膜上载置所述第2被接合体而形成层叠体的工序；以及，对所述层叠体进行加热和加压，使所述涂膜中的所述铜颗粒烧结而形成所述接合层的烧成工序，在所述烧成工序中，逐渐增加地进行从加热开始温度起至达到最高温度Tm为止的加热，并且逐渐增加地进行从加压开始压力起至达到最高压力Pm为止的加压，并且将加热温度达到200℃时的压力设为15MPa以下。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三井金属矿业株式会社 接合体的制造方法和被接合体的接合方法
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