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申请/专利权人：科磊股份有限公司
摘要：本申请实施例涉及使用机器学习检验光罩的系统和方法。基于从设计数据库产生的光罩数据库图像来经由深度学习过程产生近场光罩图像，且基于所述近场光罩图像来经由基于物理的过程模拟检验系统的图像平面处的远场光罩图像。该深度学习过程包含基于最小化该远场光罩图像与通过使由该设计数据库制造的训练光罩成像获取的多个对应训练光罩图像之间的差异来训练深度学习模型。经由裸片到数据库过程来检验由该设计数据库制造的测试光罩的测试区域的缺陷，该裸片到数据库过程包含比较来自参考远场光罩图像的多个参考图像与由该检验系统从该测试光罩获取的多个测试图像。基于由该经训练的深度学习模型产生的参考近场光罩图像来模拟该参考远场光罩图像。
主权项：1.一种检验光刻光罩的方法，所述方法包括：通过将多个参考近场图像输入到基于物理的模型中，模拟多个参考远场图像，其中所述多个参考近场图像由来自设计数据库的测试部分的经训练的深度学习模型产生，所述设计数据库的所述测试部分用于制造测试光罩的测试区域；经由裸片到数据库过程来检验由所述设计数据库制造的测试光罩的所述测试区域的缺陷，所述裸片到数据库过程包含比较通过所述基于物理的模型模拟的所述多个参考远场图像与由检验系统从所述测试光罩的所述测试区域获取的多个测试图像。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 科磊股份有限公司 使用机器学习检验光罩的系统和方法
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