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申请/专利权人：古河电气工业株式会社
摘要：光半导体元件例如具备：基板；第一突出部；和第二突出部，其作为用在与不同于光半导体元件的部件的定位中的定位部发挥功能，包含：第一半导体层，其遍及相对于第一突出部成为第一方向的后方的第一部位、相对于第二突出部成为第一方向的后方的第二部位、以及成为第一部位与第二部位之间的第三部位而形成，相对于能蚀刻其他半导体层的给定的蚀刻剂不被蚀刻，或者蚀刻速率相对于该其他半导体层的蚀刻速率之比充分小。
主权项：1.一种光半导体元件，具备：基板，与第一方向交叉地扩展；第一突出部，从所述基板向所述第一方向突出，具有包含活性层的半导体层；和第二突出部，在从所述第一突出部向与所述第一方向交叉的第二方向分离的位置，从所述基板向所述第一方向突出，具有半导体层，作为用在与不同于所述光半导体元件的部件的定位中的定位部发挥功能，所述光半导体元件包含：第一半导体层，遍及相对于所述第一突出部成为所述第一方向的后方的第一部位、相对于所述第二突出部成为所述第一方向的后方的第二部位、以及成为所述第一部位与所述第二部位之间的第三部位而形成，相对于能蚀刻其他半导体层的给定的蚀刻剂不被蚀刻，或者蚀刻速率相对于该其他半导体层的蚀刻速率之比充分小。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 古河电气工业株式会社 光半导体元件、光集成元件以及光半导体元件的制造方法
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