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申请/专利权人：深圳市芯悦声管理咨询合伙企业(有限合伙);深圳技术大学
摘要：本申请涉及一种压电传感芯片、模组及振动检测装置。所述芯片中支撑结构设置在保护盖板上，支撑结构设置有容纳腔；质量块设置在容纳腔内；悬臂梁设置在支撑结构上，悬臂梁的第一端部与质量块相连接；止挡结构设置在悬臂梁上；其中，悬臂梁、支撑结构、质量块和保护盖板围合形成阶梯型腔体；阶梯型腔体用来提供悬臂梁及质量块的活动空间，并保持悬臂梁高度的一致性，从而保证芯片的一致性；同时便于设置更大体积的质量块，从而可获得更高的信噪比；利用阶梯型腔体可有效的约束质量块在横向上的位移空间，从而增加横向冲击的可靠性；利用止挡结构与保护盖板结合，控制质量块在Z轴方向的位移范围，从而可有效地提高芯片在Z轴的可靠性。
主权项：1.一种压电传感芯片，其特征在于，包括：保护盖板；支撑结构，所述支撑结构设置在所述保护盖板上，所述支撑结构设置有容纳腔；质量块，所述质量块设置在所述容纳腔内；悬臂梁，所述悬臂梁设置在所述支撑结构上，所述悬臂梁的第一端部与所述质量块相连接；止挡结构，所述止挡结构设置在所述悬臂梁上；其中，所述悬臂梁、所述支撑结构、所述质量块和所述保护盖板围合形成阶梯型腔体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市芯悦声管理咨询合伙企业(有限合伙) 深圳技术大学 压电传感芯片、模组及振动检测装置
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