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申请/专利权人：罗伯特·博世有限公司
摘要：本发明涉及一种用于制造具有阻尼器结构的微机械设备的方法，该方法具有下述步骤：A提供具有背面的微机械晶片；B将液态的阻尼器材料涂覆到所述背面上；C将阴模压向所述背面，用以将至少一个阻尼器结构成形到所述阻尼器材料中；D使所述阻尼器材料固化；E取下所述阴模。
主权项：1.用于制造具有阻尼器结构的微机械设备的方法，该方法具有下述步骤：A提供具有背面的微机械晶片；B将液态的阻尼器材料涂覆到所述背面上；C将阴模压向所述背面，用以将至少一个阻尼器结构成形到所述阻尼器材料中；D使所述阻尼器材料固化；E取下所述阴模，其中，在步骤B之前，将液态的阻尼器材料涂覆到所述阴模上，然后通过将所述阴模贴靠到并且按压到所述背面上同时实施步骤B和C。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 罗伯特·博世有限公司 用于制造具有阻尼器结构的微机械设备的方法
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