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申请/专利权人：财团法人工业技术研究院
摘要：一种具校正功能的微机电感测装置，包含微机电传感器以及集成电路芯片。微机电传感器包含质量块、至少一驱动电极设置于基板上及至少一感应电极设置于质量块上，当质量块产生振动时，感应电极会输出感测信号。集成电路芯片包含转换模块以及校正模块，转换模块电性连接微机电传感器，校正模块电性连接转换模块。转换模块将感测信号转换成输入频谱信号，校正模块接收输入频谱信号并将输入频谱信号转换成输出频谱信号，其中当微机电传感器承受等振幅的振动时且输入频谱信号为非等振幅频谱信号时，输出频谱信号为等振幅频谱信号。
主权项：1.一种具校正功能的微机电感测装置，包含：一微机电传感器，包含：一质量块，至少一可动驱动电极设置于该质量块上，至少一固定驱动电极设置于一基板上，至少一可动感应电极设置于该质量块上，以及至少一固定感应电极设置于该基板上，其中当该质量块产生一振动时，该至少一可动感应电极及该至少一固定感应电极会输出一感测信号；以及一集成电路芯片，包含：一转换模块，电性连接该微机电传感器，其中该转换模块将该感测信号转换成一输入频谱信号，以及一校正模块，电性连接该转换模块，其中该校正模块接收该输入频谱信号并将该输入频谱信号转换成一输出频谱信号；其中，当该微机电传感器承受一等振幅的振动时且该输入频谱信号为非等振幅频谱信号时，该输出频谱信号为等振幅频谱信号。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 财团法人工业技术研究院 具校正功能的微机电感测装置
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