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申请/专利权人：麦斯克电子材料股份有限公司
摘要：一种高效精准定位的粘接工装，涉及硅片加工技术领域，包括粘晶棒限位器以及设置在粘晶棒限位器上的红外传感器所述红外传感器连接有螺旋微调器，螺旋微调器与固定在粘晶棒限位器上的固定台固定连接，螺旋微调器用于精准调整红外传感器的位置，螺旋微调器包括固定在固定台上的固定套筒，固定套筒内设有螺母，螺母螺纹连接有精密螺杆，精密螺杆一端与红外传感器转动卡接，精密螺杆另一端与转动连接在固定套筒上的微分筒固定连接，微分筒以及固定套筒上设有用于显示精密螺杆轴向移动量的刻度。以辅助工作人员高效且高精度的调整定位红外传感器位置，来保持晶棒粘连工序的高质量。
主权项：1.一种高效精准定位的粘接工装，包括粘晶棒限位器1以及设置在粘晶棒限位器1上的红外传感器2，其特征在于：所述红外传感器2连接有螺旋微调器4，螺旋微调器4与固定在粘晶棒限位器1上的固定台3固定连接，螺旋微调器4用于精准调整红外传感器2的位置；螺旋微调器4包括固定在固定台3上的固定套筒42，固定套筒42内设有螺母44，螺母44螺纹连接有精密螺杆45，精密螺杆45一端与红外传感器2转动卡接，精密螺杆45另一端与转动连接在固定套筒42上的微分筒43固定连接，微分筒43以及固定套筒42上设有用于显示精密螺杆45轴向移动量的刻度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 麦斯克电子材料股份有限公司 一种高效精准定位的粘接工装
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