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申请/专利权人：苏州佑伦真空设备科技有限公司
摘要：本发明公开了一种具有加热脱气功能的晶圆加工用工艺腔，包括真空箱体，以及开设于真空箱体内部的加热腔体；还包括：所述真空箱体内部加热腔体的左侧设置有驱动机构；所述真空箱体内部加热腔体的右侧设置有托举机构；其中，真空箱体的顶面固定设置有加热机构，且加热机构包含有密封隔板，且密封隔板的顶面固定设置有光源收束盘。该具有加热脱气功能的晶圆加工用工艺腔，通过托举机构带动晶圆进入真空箱体内部，使得驱动机构与定位弧板对其限位之后由驱动盘体带动旋转，使得加热机构通过光源收束器将热量传递至晶圆上方，进而保证加热过程中的均匀性，提升后期薄膜的附着能力。
主权项：1.一种具有加热脱气功能的晶圆加工用工艺腔，包括真空箱体（1），以及开设于真空箱体（1）内部的加热腔体（2）；其特征在于，还包括：所述真空箱体（1）内部加热腔体（2）的左侧设置有驱动机构，且驱动机构包含有驱动盘体（3），并且驱动盘体（3）的底端转动连接于旋转减速器（4）的顶端转轴处；所述真空箱体（1）内部加热腔体（2）的右侧设置有托举机构，且托举机构包含有托举弧架（5），并且托举弧架（5）的右侧底面固定连接于驱动气缸（6）的驱动轴顶端，而且托举弧架（5）的前后两侧均固定连接于牵引支架（23）的底端；其中，真空箱体（1）的顶面固定设置有加热机构，且加热机构包含有密封隔板（7），且密封隔板（7）的顶面固定设置有光源收束盘（8）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州佑伦真空设备科技有限公司 一种具有加热脱气功能的晶圆加工用工艺腔
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