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申请/专利权人：珠海基石科技有限公司
摘要：本申请实施例提供一种图案化材料、图案化组合物、图案化薄膜、图案化基底、半导体器件及其制备方法。该图案化材料的制备方法，包括：将第一单体、第二单体、含碘引发剂和有机碘化物催化剂混合，经聚合反应形成含碘聚合物；所述含碘聚合物进行脱碘处理，得到图案化材料，所述图案化材料包括式（I）所示的第一重复单元和式（II）所示的第二重复单元，其中R1选自极性基团，R2选自酸致分解基团，式（I），式（II）。该图案化材料的制备中采用了含碘引发剂和有机碘化物催化剂，并且进行了脱碘处理，避免了杂质元素对制得的图案化材料性能的影响，有利于半导体器件的制备和使用。
主权项：1.一种图案化材料的制备方法，其特征在于，包括：将第一单体、第二单体、含碘引发剂和有机碘化物催化剂混合，经聚合反应形成含碘聚合物；所述含碘聚合物进行脱碘处理，得到图案化材料，所述图案化材料包括式（I）所示的第一重复单元和式（II）所示的第二重复单元，其中R1选自极性基团，R2选自酸致分解基团， 式（I）， 式（II）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 珠海基石科技有限公司 图案化材料、图案化组合物、图案化薄膜、图案化基底、半导体器件及其制备方法
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