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申请/专利权人：浙江众凌科技有限公司
摘要：本发明公开一种金属掩膜版固定转移装置以及使用方法，涉及金属掩模版转运技术领域，包括转移部件；抓取机构，所述抓取机构安装于转移部件的执行端，其用于吸附固定精细金属掩膜版；两个夹持机构，两个所述夹持机构对称安装于抓取机构的两侧，两个所述夹持机构分别用于夹持固定位于精细金属掩膜版下侧的隔离膜两侧，以实现隔离膜对精细金属掩膜版进行支撑；存放机构，所述存放机构设置于下道工位的一侧。本发明利用两个夹持机构可将位于精细金属掩膜版下侧的隔离膜夹持固定，且将隔离膜拉紧绷直，隔离膜对精细金属掩膜版起到支撑的作用，避免精细金属掩膜版在转运的过程出现弯曲，提高精细金属掩膜版质量。
主权项：1.一种金属掩膜版固定转移装置，其特征在于，包括：转移部件1；抓取机构2，所述抓取机构2安装于转移部件1的执行端，其用于吸附固定精细金属掩膜版71；两个夹持机构3，两个所述夹持机构3对称安装于抓取机构2的两侧，两个所述夹持机构3分别用于夹持固定位于精细金属掩膜版71下侧的隔离膜72两侧，以实现隔离膜72对精细金属掩膜版71进行支撑；以及存放机构4，所述存放机构4设置于下道工位5的一侧，所述转移部件1将抓取机构2移动至靠近存放机构4时，远离所述存放机构4一侧的抓取机构2松开精细金属掩膜版71，另一个所述夹持机构3将精细金属掩膜版71传输至存放机构4储存。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江众凌科技有限公司 一种金属掩膜版固定转移装置以及使用方法
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