买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：帝京半导体科技(苏州)有限公司

摘要：本发明公开了针对CVD设备半导体蚀刻工艺用高真空隔离传输阀，涉及相关技术领域，解决了高真空隔离传输阀在因为气缸的伸缩移动，对传输口进行开关闭合操作时，存在一定的误差导致密封性较差，安全性低的问题。该针对CVD设备半导体蚀刻工艺用高真空隔离传输阀，包括阀座盖板、传输阀阀座、传输阀底座、密封底板和自动化开关机构，所述阀座盖板通过螺钉安装在所述传输阀阀座的顶部，且对所述传输阀阀座的顶部开口处进行密封。在本发明中，在带动阀板位置进行调节实现传输口的开关闭合时，阀板的移动均在一组竖直杆上进行且彼此不会产生冲突，在保证关闭状态下高真空隔离传输阀密封性的同时，有效减少传输阀的成本，在实际使用时更加的安全。

主权项：1.针对CVD设备半导体蚀刻工艺用高真空隔离传输阀，包括阀座盖板（10）、传输阀阀座（20）、传输阀底座（30）、密封底板（40）和自动化开关机构（50），其特征在于：所述阀座盖板（10）通过螺钉安装在所述传输阀阀座（20）的顶部，且对所述传输阀阀座（20）的顶部开口处进行密封，所述传输阀阀座（20）的内部开设有流通口（201），所述传输阀阀座（20）通过侧面安装有螺栓（202）安装在CVD设备侧面；所述传输阀底座（30）的底部通过导向组件（60）安装在所述传输阀阀座（20）的底部，所述传输阀底座（30）的外侧通过一体化组装组件（70）连接有传输阀阀座（20）和密封底板（40），所述密封底板（40）安装在传输阀底座（30）的底部，所述传输阀底座（30）的内部设置有自动化开关机构（50），所述自动化开关机构（50）延伸至传输阀阀座（20）的内部；其中，所述自动化开关机构（50）包括有：升降开关组件（80），所述升降开关组件（80）安装在所述传输阀底座（30）的内侧，且安装在所述密封底板（40）的顶部，所述升降开关组件（80）的顶部安装有阀板（90），所述阀板（90）的外侧套设有硫化橡胶密封圈（901）；横向密封组件（100），所述横向密封组件（100）安装在所述升降开关组件（80）的侧面，且带动所述阀板（90）进行横向移动，所述阀板（90）的侧面设置有侧支撑组件（110），所述侧支撑组件（110）安装在传输阀阀座（20）内部的一侧，所述传输阀阀座（20）底部前后两侧开设有凹陷部（203），所述传输阀阀座（20）内部的一侧设置有补偿部（204），以及所述补偿部（204）的内部设置有侧支撑组件（110），所述密封底板（40）侧面的边缘处开设有对位部（401），所述对位部（401）的内部安装有一体化组装组件（70），以及所述密封底板（40）的内部开设有进气口（402）和排气口（403），所述进气口（402）和排气口（403）均与升降开关组件（80）相连接，所述导向组件（60）包括有：导向槽（601），所述导向槽（601）开设在所述传输阀阀座（20）底部的两侧，且设置有两组，所述导向槽（601）的内部滑动连接有导向凸起（602），所述导向凸起（602）安装在所述传输阀底座（30）顶部的两侧，以及所述导向凸起（602）设置有两组，两组所述导向槽（601）的中心部分开设有底部口（603），所述底部口（603）的内部贯穿设置有升降开关组件（80），所述一体化组装组件（70）包括有：外挡板（701），所述外挡板（701）通过螺钉安装在外置部（702）的内部，所述外置部（702）开设在传输阀底座（30）的侧面，所述外挡板（701）的上下两侧向外侧突出，且分别延伸至所述对位部（401）和所述凹陷部（203）的内部，以及所述外挡板（701）通过螺钉安装在所述对位部（401）和所述凹陷部（203）内部，所述升降开关组件（80）包括有：第一伺服气缸（801），所述第一伺服气缸（801）安装在所述传输阀底座（30）的内部，且位于所述密封底板（40）的顶部，所述第一伺服气缸（801）的进气端和出气端分别与所述进气口（402）和所述排气口（403）相连接；支撑盘（802），所述支撑盘（802）和所述第一伺服气缸（801）的输出端连接，所述支撑盘（802）和竖直凸起（803）滑动连接，所述竖直凸起（803）安装在所述传输阀底座（30）的内部，且位于所述外挡板（701）的侧面；以及活动槽（804），所述活动槽（804）开设在所述支撑盘（802）的内顶部，且内部滑动连接有竖直杆（805），所述竖直杆（805）贯穿所述硫化橡胶密封圈（901）设置，且延伸至所述阀板（90）的内部，所述竖直杆（805）贯穿所述底部口（603）设置；其中，所述竖直杆（805）的侧面安装有L形支撑杆（806），所述L形支撑杆（806）贯穿所述硫化橡胶密封圈（901）设置，且延伸至所述阀板（90）的内部，所述竖直杆（805）的外侧安装有横向密封组件（100），所述横向密封组件（100）包括有：支撑板件（1001），所述支撑板件（1001）焊接在所述传输阀底座（30）的内壁，且顶部支撑有第二伺服电缸（1002），所述第二伺服电缸（1002）的输出端连接有套环（1003）；其中，所述套环（1003）活动连接在所述竖直杆（805）的外侧，所述侧支撑组件（110）包括有：侧挡板（1101），所述侧挡板（1101）设置在所述阀板（90）的侧面，且滑动连接有内槽部（11011）的内部，所述内槽部（11011）开设在所述传输阀阀座（20）的内壁，所述侧挡板（1101）活动连接在所述补偿部（204）的内部；下压座（1102），所述下压座（1102）安装在所述侧挡板（1101）侧面的夹角处，所述下压座（1102）的内部安装有支撑弹簧（1103），所述支撑弹簧（1103）的底部延伸至侧压座（1104）的内部；其中，所述侧压座（1104）安装在所述传输阀阀座（20）的内壁处，所述侧压座（1104）的侧面安装有压力传感器（1105），所述压力传感器（1105）安装在所述传输阀阀座（20）的内壁处。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 帝京半导体科技(苏州)有限公司 针对CVD设备半导体蚀刻工艺用高真空隔离传输阀