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申请/专利权人：科磊股份有限公司
摘要：本发明公开一种晶片对准系统，其包含成像子系统、控制器及载物台。所述控制器接收参考点目标的图像数据且确定所述参考点目标中的每一者的中心位置。所述中心位置确定包含识别相应参考点目标内的子图案及识别所述相应参考点目标的多个中心位置候选者。识别所述相应参考点目标的所述多个中心位置候选者的步骤包含：将模型应用到所述相应参考点目标的每一经识别子图案，其中所述模型产生每一子图案的识别所述相应参考点目标的中心位置候选者的热点。所述控制器进一步经配置以基于所述多个中心位置候选者确定所述相应参考点目标的中心位置且基于所述参考点目标的所述中心位置确定而确定所述晶片的定向。
主权项：1.一种晶片对准系统，其包括：成像子系统；载物台，其经配置以固定且致动晶片，其中两个或更多个参考点目标形成于所述晶片上，其中每一参考点目标包括以阵列布置的多个子图案，其中每一子图案不同于所述多个子图案的其它子图案；控制器，其耦合到所述成像子系统及所述载物台，所述控制器包含一或多个处理器，所述一或多个处理器经配置以执行程序指令，从而引起所述一或多个处理器：接收来自所述成像子系统的所述两个或更多个参考点目标的图像数据；确定所述两个或更多个参考点目标中的每一者的中心位置，其中确定所述两个或更多个参考点目标中的每一者的所述中心位置包括：经由图案辨识过程识别相应参考点目标内的每一子图案；识别所述相应参考点目标的多个中心位置候选者，其中识别所述相应参考点目标的所述多个中心位置候选者包括：将模型应用到所述相应参考点目标的每一经识别子图案，其中所述模型产生每一子图案的识别所述相应参考点目标的中心位置候选者的热点；且基于所述多个中心位置候选者确定所述相应参考点目标的中心位置；基于针对所述两个或更多个参考点目标中的每一者确定的所述中心位置确定所述晶片相对于所述载物台的坐标系统的定向；且基于所述晶片的所述经确定定向引导所述载物台调整所述晶片的旋转位置以将所述晶片与所述载物台坐标系统对准。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 科磊股份有限公司 用于晶片对准的系统、方法及目标
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