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一种用于半导体晶片的探针测试装置 

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申请/专利权人:昆山君治电子有限公司

摘要:本实用新型公开了一种用于半导体晶片的探针测试装置,包括底座,所述底座的上表面固定连接有导轨,所述调节装置的外表面固定连接有测试仪,所述测试仪的外表面固定连接有检测装置,本实用新型涉及探针测试技术领域。该装置新型通过设置调节装置,拉动转动杆,转动杆会带动移动杆上的锥形柱在配合块的内部滑动,当锥形柱从锥形槽的内壁抽出时,可使升降板在支撑板上的滑槽内滑动,将支撑板滑动至人员需要的位置后,松开转动杆,锥形柱对受到伸缩弹簧的弹力作用下,使锥形柱卡进支撑板上对应的锥形槽的内壁,定位杆使锥形柱进入到锥形槽内进行复位,从而完成了对于支撑板位置调节后的固定,达到了测试目的。

主权项:1.一种用于半导体晶片的探针测试装置,包括底座1,其特征在于:所述底座1的上表面固定连接有导轨2,所述导轨2的内表面滑动连接有移动架3,所述移动架3的外表面固定连接有滚珠31,所述滚珠31的外表面与导轨2的内表面滑动连接,所述导轨2的顶部设置有调节装置4,所述调节装置4的外表面与移动架3的外表面固定连接,所述调节装置4的外表面固定连接有测试仪5,所述测试仪5的外表面固定连接有检测装置6。

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权利要求:

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