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申请/专利权人：北京工业大学
摘要：本发明涉及微机电系统技术领域，公开MEMS芯片及电子设备，包括：第一极板及第二极板沿第一方向分别布置于第一镂空区的两侧，且均与第一基板连接；第一驱动梁、第二驱动梁、第三极板及第四极板均位于第二基板的第二镂空区朝向第一基板的一侧；第一驱动梁及第二驱动梁均安装于第二基板；第一驱动梁与第三极板连接，用于驱动第三极板沿第一方向相对于第一极板运动，以调整第一极板与第三极板的第一重叠面积；第二驱动梁与第四极板连接，用于驱动第四极板沿第一方向相对于第二极板运动，以调整第四极板与第二极板的第二重叠面积。解决了现有技术中的电容式传感器存在的电容与位移的线性关系较差，测量结果的准确性及精准度较差的问题。
主权项：1.一种MEMS芯片，其特征在于，包括：第一电容器，包括第一极板110及第三极板130；第二电容器，包括第二极板120及第四极板140；第一基板组件200，所述第一基板组件200包括第一基板210；所述第一基板210形成有第一镂空区201；所述第一极板110及所述第二极板120沿第一方向分别布置于所述第一镂空区201的两侧，且均与所述第一基板210连接；第二基板组件300，所述第二基板组件300包括第二基板310、第一驱动梁320及第二驱动梁330；所述第二基板310具有第二镂空区；所述第一驱动梁320、所述第二驱动梁330、所述第三极板130及所述第四极板140均位于所述第二镂空区朝向所述第一基板210的一侧；所述第一驱动梁320与所述第二驱动梁330沿所述第一方向设置，所述第一驱动梁320的一端与所述第二驱动梁330的一端连接以形成样品放置结构；所述第一驱动梁320及所述第二驱动梁330均安装于所述第二基板310；所述第一驱动梁320与所述第三极板130连接，用于驱动所述第三极板130沿所述第一方向相对于所述第一极板110运动，以调整所述第一极板110与所述第三极板130的第一重叠面积；所述第二驱动梁330与所述第四极板140连接，用于驱动所述第四极板140沿所述第一方向相对于所述第二极板120运动，以调整所述第四极板140与所述第二极板120的第二重叠面积。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京工业大学 一种MEMS芯片及电子设备
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