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申请/专利权人：浙江盾源聚芯半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了一种硅环清洗设备，包括清洗箱以及设置在清洗箱中的若干个清洗槽，清洗槽中设有吊篮，包括将吊篮移动至下一清洗槽内的吊升部件，吊篮内放置有用以硅环放置的花篮，所述花篮包括两相对设置的侧板，两侧板之间固定设有支撑板，侧板的底部转动连接有承托辊，承托辊的周壁与吊篮的底壁抵接，支撑板上开设有卡接槽，硅环卡接在卡接槽内时，硅环与承托辊抵接，吊篮与花篮之间留有供花篮滚动的间隙，还包括驱动吊篮摇摆的动力组件，承托辊在吊篮的底壁上往复滚动，由于硅环与承托辊抵接，故此承托辊能够带动硅环绕自身的轴线进行摆动，实现硅环与花篮的相对移动，进而能够对硅环与卡接槽接触的位置进行清洗，提高硅环的清洗质量。
主权项：1.一种硅环清洗设备，包括清洗箱1以及设置在清洗箱1中的若干个清洗槽10，清洗槽10中设有吊篮3，还包括将吊篮3移动至下一清洗槽10内的吊升部件2，其特征在于：吊篮3内放置有用以硅环40放置的花篮4，所述花篮4包括两相对设置的侧板41，两侧板41之间固定设有支撑板42，侧板41的底部转动连接有承托辊43，承托辊43的周壁与吊篮3的底壁抵接，支撑板42上开设有卡接槽421，硅环40卡接在卡接槽421内时，硅环40与承托辊43抵接，吊篮3与花篮4之间留有供花篮4滚动的间隙，还包括驱动吊篮3摇摆的动力组件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江盾源聚芯半导体科技有限公司 一种硅环清洗设备
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