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申请/专利权人：华方信智能科技(江苏)有限公司
摘要：本发明涉及硅棒加工技术领域，具体公开了一种硅棒检测设备，包括硅棒检测装置及硅棒移动装置；硅棒检测装置包括检测机架，检测机架上沿第一方向开设有通孔，通孔的一端面沿环向分布有若干个相机检测机构；硅棒移动装置包括两个夹持组件、夹持驱动机构及平移驱动机构；两个夹持组件相对设置于通孔两端侧，且夹持中心线与通孔的中心轴线共线；夹持驱动机构能够驱动两个夹持组件沿第一方向相向移动以夹持固定硅棒；平移驱动机构能够驱动两个夹持组件共同沿第一方向移动，以使两个夹持组件夹持的硅棒从各相机检测机构之间通过并从通孔穿出。该硅棒检测设备能够实现对方形硅棒的四个侧面及四个倒角斜面进行全方位精准检测。
主权项：1.一种硅棒检测设备，其特征在于，包括硅棒检测装置4及硅棒移动装置3；所述硅棒检测装置4包括检测机架41，所述检测机架41上沿第一方向开设有通孔411，所述通孔411的一端面沿环向分布有若干个相机检测机构42；所述硅棒移动装置3包括两个夹持组件33、夹持驱动机构36及平移驱动机构35；两个所述夹持组件33相对设置于所述通孔411两端侧，且夹持中心线与所述通孔411的中心轴线共线；所述夹持驱动机构36能够驱动两个所述夹持组件33沿第一方向相向移动，以使两个所述夹持组件33分别与硅棒的两端面接触实现夹持固定；所述平移驱动机构35能够驱动两个所述夹持组件33共同沿第一方向移动，以使两个所述夹持组件33夹持的硅棒从各所述相机检测机构42之间通过并从所述通孔411穿出。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华方信智能科技(江苏)有限公司 一种硅棒检测设备
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