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申请/专利权人：青岛四方思锐智能技术有限公司
摘要：本发明属于半导体技术领域，公开了一种变径聚焦组件、射频加速段及离子注入机，变径聚焦组件包括多个沿离子束流运动方向排布的聚焦单元，多个聚焦单元极性交变排布，多个聚焦单元上的离子束通道半径沿离子束流运动方向逐渐减小，最后方的聚焦单元上的离子束通道半径大于或等于变径聚焦组件下游的加速器上的离子束通道半径。射频加速段包括聚束组件、上述变径聚焦组件和加速器。离子注入机包括离子源、质量分析器和上述射频加速段。本发明可以将通过聚束组件而产生径向过度发散的离子束进行整形，减少离子束扩散造成的损失，提高离子束的传输效率，且能适用于所有质荷比的离子。
主权项：1.一种变径聚焦组件，其特征在于，包括多个沿离子束流运动方向排布的聚焦单元，多个所述聚焦单元极性交变排布，多个聚焦单元上的离子束通道半径沿离子束流运动方向逐渐减小，最后方的聚焦单元上的离子束通道半径大于或等于变径聚焦组件下游的加速器上的离子束通道半径。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 青岛四方思锐智能技术有限公司 变径聚焦组件、射频加速段及离子注入机
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