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申请/专利权人：华天慧创科技(西安)有限公司
摘要：本发明属于光学透镜阵列制备技术领域，具体涉及一种微纳光学晶圆级透镜阵列的制备方法。本发明通过电解沉积原理，将待加工晶圆级光学透镜阵列模具作为阴极，待沉积金属作为阳极，在待加工晶圆级光学透镜阵列模具的表面沉积出金属层，将金属层作为晶圆级光学透镜阵列压印模版替换胶制Stamp压印模版，能够大大提升微纳光学晶圆级透镜阵列的制备过程中面型转换的精度、提升翻转压印过程中的稳定性，延长压印模版的使用寿命。实施例结果表明，本申请制备得到的金属压印模版作业后变异量为0.00005，使用寿命达到了100片。
主权项：1.一种微纳光学晶圆级透镜阵列的制备方法，其特征在于，步骤为：在材质为镍的晶圆级光学透镜阵列模具的表面涂覆络合物层，其中络合物的材质为络盐；提供成分为氨基磺酸镍250gL，硼酸20gL，氯化镍7gL，氯化钡6gL，硫酸镁8gL，pH值为2的电解液，将电解液注入电解槽中；将设置有络合物层的晶圆级光学透镜阵列模具作为阴极，将待沉积金属镍作为阳极，置于电解槽内；将电解槽加热升温至30℃，进行电解沉积，其中电解沉积时电流大小为5A，时间为3h，在所述络合物层的表面上形成金属镍层；将所述金属镍层与晶圆级光学透镜模具分离，得到金属镍压印模版，厚度为8mm；将所述金属镍压印模版与涂覆有Lens胶水的载体玻璃进行翻印压合，其中翻印压合的条件为Lens胶水的固化率为95%；待所述Lens胶水固化后，将所述金属镍压印模版与所述载体玻璃分离，将分离得到的载体玻璃进行切割得到微纳光学晶圆级透镜阵列。
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权利要求：
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