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申请/专利权人：内蒙古大全半导体有限公司
摘要：本实用新型公开了一种电子级多晶硅补充酸液装置，涉及多晶硅生产技术领域，主要目的是自动补充工作槽内酸液液位和酸浓度。本实用新型的主要技术方案为：电子级多晶硅补充酸液装置，包括：工作槽的上端口一侧安装有红外线发射器，另一侧安装有红外线接收器，红外线接收器电连接于计数器的输入端，工作槽安装有第一液位计；第一酸液槽通过第一酸液管连接于调配槽，第一酸液管安装有第一流量计和第一调节阀，第二酸液槽通过第二酸液管连接于调配槽，第二酸液管安装有第二流量计和第二调节阀，纯水管连接于调配槽，纯水管安装有第三调节阀，调配槽安装有第二液位计，调配槽通过输液管连接于工作槽，输液管设有控制阀。
主权项：1.一种电子级多晶硅补充酸液装置，其特征在于，包括：工作槽，所述工作槽的上端口一侧安装有红外线发射器，另一侧安装有红外线接收器，所述红外线接收器电连接于计数器的输入端，所述计数器的输出端电连接于控制器的输入端，所述工作槽安装有第一液位计，所述第一液位计电连接于所述控制器的输入端；配制部，所述配制部包括调配槽、第一酸液槽、第二酸液槽和纯水管，所述第一酸液槽通过第一酸液管连接于所述调配槽，所述第一酸液管安装有第一流量计和第一调节阀，所述第二酸液槽通过第二酸液管连接于所述调配槽，所述第二酸液管安装有第二流量计和第二调节阀，所述纯水管连接于所述调配槽，所述纯水管安装有第三调节阀，所述调配槽安装有第二液位计，所述调配槽通过输液管连接于所述工作槽，所述输液管设有控制阀；其中，所述第一流量计、所述第二流量计和所述第二液位计电连接于所述控制器的输入端，所述第一调节阀、所述第二调节阀、所述第三调节阀和所述控制阀电连接于所述控制器的输出端。
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百度查询： 内蒙古大全半导体有限公司 电子级多晶硅补充酸液装置
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