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申请/专利权人：浙江衢化氟化学有限公司
摘要：本实用新型公开了一种串联法生产高纯硅烷的装置，包括依次相连的一级反应精馏塔、第一进料提压泵、二级反应精馏塔、第二进料提压泵和产品精馏塔，本实用新型具有结构简单、效率高、能耗低、产品质量好的优点。
主权项：1.一种串联法生产高纯硅烷的装置，其特征在于，包括依次相连的一级反应精馏塔、第一进料提压泵、二级反应精馏塔、第二进料提压泵和产品精馏塔，所述的一级反应精馏塔塔顶设置有第一多级冷凝系统，所述的二级反应精馏塔塔顶设置有第二多级冷凝系统，所述的一级反应精馏塔的气相出口与所述的第一多级冷凝系统的气相进口连接，所述的第一多级冷凝系统的液相出口分别与所述的一级反应精馏塔的回流液进口和所述的第一进料提压泵的进口相连，所述的第一进料提压泵的出口与所述的二级反应精馏塔的进料口连接，所述的二级反应精馏塔的气相出口与所述的第二多级冷凝系统的气相进口连接，所述的第二多级冷凝系统的液相出口分别与所述的二级反应精馏塔的回流液进口和所述的第二进料提压泵的进口相连，所述的第二进料提压泵的出口与所述的产品精馏塔的进料口连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江衢化氟化学有限公司 一种串联法生产高纯硅烷的装置
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