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申请/专利权人：浙江衢化氟化学有限公司
摘要：本实用新型公开了一种由三氯氢硅生产高纯硅烷的装置，包括反应精馏塔、辅助反应系统、多级冷凝系统、增压泵、精馏系统，反应精馏塔的侧线采出连接辅助反应系统，多级冷凝系统的进料口与反应精馏塔的塔顶连接，多级冷凝系统的液相出料口与反应精馏塔连接；多级冷凝系统的出料口与增压泵的进料口连接，增压泵的出料口连接精馏系统，本实用新型具有能耗低，反应效率高，安全环保，产品纯度高的优点。
主权项：1.一种由三氯氢硅生产高纯硅烷的装置，包括反应精馏塔、辅助反应系统、多级冷凝系统、增压泵、精馏系统，其特征在于，所述反应精馏塔的侧线采出连接所述辅助反应系统，所述多级冷凝系统的进料口与所述反应精馏塔的塔顶连接，所述多级冷凝系统的液相出料口与所述反应精馏塔连接；所述多级冷凝系统的出料口与所述增压泵的进料口连接，所述增压泵的出料口连接所述精馏系统。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江衢化氟化学有限公司 一种由三氯氢硅生产高纯硅烷的装置
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