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申请/专利权人:无锡紫电半导体有限公司
摘要:本申请涉及一种伸缩调焦机构,应用在半导体领域,包括移动架和设置在显微镜的目镜上的安装架,所述移动架上设有与显微镜的目镜相对应的调焦镜片,所述安装架上设有固定架,所述固定架上设有用于驱动移动架沿水平方向往复移动的伸缩组件。本申请具有的技术效果是:利用调焦镜片补偿由于玻璃激光铬板厚度产生的折射,使操作人员在观测探针时,操作人员从显微镜的目镜始终只透过一层玻璃观测探针针尖,从而减少了显微镜焦距差异对观测探针的影响,提高了观测探针的精度与对位效率,提高了生产效率。
主权项:1.一种伸缩调焦机构,其特征在于:包括移动架1和设置在显微镜的目镜上的安装架2,所述移动架1上设有与显微镜的目镜相对应的调焦镜片3,所述安装架2上设有固定架4,所述固定架4上设有用于驱动移动架1沿水平方向往复移动的伸缩组件。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 无锡紫电半导体有限公司 一种伸缩调焦机构
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