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申请/专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
摘要：本发明涉及光学系统技术领域，提供一种干涉仪镜组及位移测量系统，干涉仪镜组包括：偏振分光元件、位移分光元件、偏振态转换元件、光程扩展反射元件、第一反射元件、第二反射元件和透射元件。第二线偏振光借助于第一路径上的元件先后两次入射至衍射元件后经位移分光元件输出，第四线偏振光借助于第二路径上的元件先后两次入射至第二反射元件后经位移分光元件后输出。该干涉仪镜组可以实现4光学细分数的干涉仪，进而提升干涉仪的分辨率。以衍射元件的垂直方向为干涉仪镜组的垂向方向，干涉仪镜组还可以增大第二线偏振光在干涉仪镜组与衍射元件之间的垂向行程，进而有助于实现垂向的位移测量范围，可以满足光刻机工件台的位移测量范围的需求。
主权项：1.一种干涉仪镜组，其特征在于，包括：偏振分光元件、位移分光元件、偏振态转换元件、光程扩展反射元件、第一反射元件、第二反射元件和透射元件；测量光入射至所述偏振分光元件，得到第一线偏振光和第二线偏振光；所述第一线偏振光经所述第一反射元件后输出，所述第二线偏振光沿第一路径先后两次入射至衍射元件后经所述位移分光元件输出；参考光入射至所述偏振分光元件，得到第三线偏振光和第四线偏振光；所述第三线偏振光经所述第一反射元件后输出，所述第四线偏振光沿第二路径先后两次入射至所述第二反射元件后经所述位移分光元件后输出；所述第一路径上包括所述偏振态转换元件、所述透射元件、所述衍射元件、所述偏振分光元件、所述光程扩展反射元件和所述位移分光元件；所述第二路径上包括所述偏振态转换元件、所述第二反射元件、所述偏振分光元件、所述光程扩展反射元件和所述位移分光元件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京华卓精科科技股份有限公司 干涉仪镜组及位移测量系统
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