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申请/专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
摘要：本发明公开了一种湿化学腐蚀用夹具，所述湿化学腐蚀用夹具包括：样品载盘、后置载盘、螺纹杆、螺纹钉、压片；其中，在所述样品载盘和后置载盘中心位置分别设置一个螺纹孔，大小与螺纹杆两端螺纹匹配，用螺纹杆将样品载盘和后置载盘连接在一起；在所述样品载盘上至少设置两个螺纹孔，所述螺纹钉穿过孔固定衬底；所述螺纹孔与螺纹钉匹配；所述样品载盘和后置载盘尺寸根据所用烧杯大小来制定，所述样品载盘进入烧杯，所述后置载盘不能进入烧杯，在样品接触腐蚀液进行腐蚀工作时整个夹具固定在烧杯上；所述每个压片均设置一个孔，孔洞尺寸与螺纹孔相同，所述螺纹钉穿过所述螺纹孔。其中，所述夹具由耐化学腐蚀的材料聚四氟乙烯制成。借助于本发明的技术方案，既可以使得整个样品表面同时接触到腐蚀液，解决使用花篮装载样品腐蚀时底部先接触腐蚀液，顶部后接触腐蚀液而导致腐蚀深度不一致的问题；又因配套使用磁力搅拌器，使得搅拌速率一致，从而避免了使用花篮装载样品腐蚀时人工搅拌速率不固定而导致的腐蚀速率差异。
主权项：1.一种湿化学腐蚀用夹具，其特征在于，所述夹具包括：样品载盘1、后置载盘2、螺纹杆3、螺纹钉4、压片5；其中，在所述样品载盘和后置载盘中心位置分别设置一个螺纹孔，大小与螺纹杆两端螺纹匹配，用螺纹杆将样品载盘和后置载盘连接在一起；在所述样品载盘上至少设置两个螺纹孔，所述螺纹钉穿过孔固定衬底；所述螺纹孔与螺纹钉匹配；所述样品载盘和后置载盘尺寸根据所用烧杯大小来制定，所述样品载盘进入烧杯，所述后置载盘不能进入烧杯，在样品接触腐蚀液进行腐蚀工作时整个夹具固定在烧杯上；所述每个压片均设置一个孔，孔洞尺寸与螺纹孔相同，所述螺纹钉穿过所述螺纹孔。
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百度查询： 中国科学院上海技术物理研究所 一种湿化学腐蚀用夹具
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