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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：本文描述了用于校准高度可调整的边缘环的设备和方法。在一个示例中，提供一种用于相对于参考表面定位边缘环的校准夹具，所述校准夹具包括：透明板；多个传感器，所述多个传感器耦接到所述透明板的第一侧；以及多个接触垫，所述多个接触垫耦接到所述透明板的相对的第二侧。
主权项：1.一种用于相对于基板支撑组件的参考表面定位边缘环的校准夹具，所述校准夹具包括：透明板；多个传感器，所述多个传感器耦接到所述透明板的第一侧；以及多个接触垫，所述多个接触垫耦接到所述透明板的相对的第二侧，并且被配置为与所述基板支撑组件的所述参考表面接触。
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