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申请/专利权人：深圳市库比克科技有限公司
摘要：本发明涉及微波等离子化学气相沉积技术领域，且公开了微波等离子化学气相沉积设备，包括反应部件，所述反应部件的一侧安装有波导部件，所述反应部件包括反应机壳、反应腔机构和磁力旋转调控机构，所述反应机壳与波导部件为固定连接，所述反应机壳的内侧设置有反应腔机构，所述反应腔机构的外侧设置有磁力旋转调控机构，所述磁力旋转调控机构包括电磁铁、调控组件、旋转组件和升降组件，所述反应腔机构的外侧设置有若干个电磁铁。本发明通过对反应腔内部的等离子体施加旋转式的磁场，在旋转式磁场的作用下，其内部的呈圆周等分的磁场进行圆周高速转动，进而在石英筒的内部形成类似圆柱体的等离子的分布状态，大幅提高了等离子体分布的均匀性。
主权项：1.微波等离子化学气相沉积设备，包括反应部件（1），所述反应部件（1）的一侧固定安装有波导部件（2），其特征在于：所述反应部件（1）包括反应机壳（11）、反应腔机构（12）和磁力旋转调控机构（13），所述反应机壳（11）与波导部件（2）为固定连接，所述反应机壳（11）的内侧设置有反应腔机构（12），所述反应腔机构（12）的外侧设置有磁力旋转调控机构（13），所述磁力旋转调控机构（13）包括电磁铁（131）、调控组件（132）、旋转组件（133）和升降组件（134），所述反应腔机构（12）的外侧设置有若干个电磁铁（131），所述电磁铁（131）呈环形分布在反应腔机构（12）的外侧，所述电磁铁（131）的下侧固定连接有调控组件（132），所述调控组件（132）的上侧固定连接有磁场屏蔽罩（5），所述电磁铁（131）位于磁场屏蔽罩（5）的内侧，所述调控组件（132）的下侧固定连接有旋转组件（133），所述旋转组件（133）的下侧固定连接有升降组件（134），所述反应腔机构（12）的内部设置有水冷组件（3），所述电磁铁（131）通电在旋转组件（133）的旋转配合作用下以及调控组件（132）调控作用下，在所述反应腔机构（12）外部施加旋转式可控磁场，用于提高所述反应腔机构（12）内部等离子体的均匀分布。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市库比克科技有限公司 微波等离子化学气相沉积设备
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