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申请/专利权人：中微半导体设备(上海)股份有限公司
摘要：本发明公开了一种加热器及其保护层的制备方法、化学气相沉积设备，所述加热器包括加热盘本体和加热丝，加热盘本体主要由金属镍制成质量占比≥90％，具有导热好、耐高温以及长期加热不易变形的特性；所述加热丝均匀排布在加热盘本体内部，有利于提升所承载晶圆的导热均匀性，进一步提升沉积薄膜的均匀性。进一步地，所述加热盘本体包括堆叠设置的第一加热盘和第二加热盘，分别实现加热器加热温度的粗调和细调。另外，本发明进一步在加热盘主体外表面引入保护层，所述保护层可隔离、阻挡晶圆与加热器接触而发生副产物反应，避免污染晶圆背面和加热器表面。
主权项：1.一种加热器，所述加热器应用于化学气相沉积设备中，其特征在于，所述加热器包括：加热盘主体和加热丝；所述加热丝设于所述加热盘主体的内部；所述加热盘主体的材质包括金属镍，其中金属镍的质量占比不小于90％。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中微半导体设备(上海)股份有限公司 一种加热器及其保护层的制备方法、化学气相沉积设备
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