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申请/专利权人：苏州光越微纳科技有限公司
摘要：本发明公开一种下压印承载装置及具有该装置的真空纳米压印设备，下压印承载装置包括：具有上型腔的上压印施压装置、具有下型腔的下压印承载装置以及抽真空装置，当上压印施压装置和下压印承载装置闭合时，上型腔与下型腔形成密封腔体；在下压印承载装置的下型腔内安装有承载平台、套设于承载平台外周侧的升降环以及分布于升降环外周侧的若干夹持组件，承载平台用于承载具有微结构图形的母板；升降环与升降驱动机构传动连接；夹持组件用于夹持待压印的晶圆。本发明采用真空压印的方式，能够实现玻璃板和晶圆或任意两个硬板之间的贴合，将其中一个硬板上的微纳结构图形转印到另一硬板上，且贴合过程无气泡，转印效果好。
主权项：1.下压印承载装置，其特征在于，在所述下压印承载装置的下型腔内安装有承载平台、套设于承载平台外周侧的升降环以及分布于升降环外周侧的若干夹持组件；所述承载平台用于承载具有微结构图形的母板；所述升降环与升降驱动机构传动连接，所述升降驱动机构带动升降环升降；所述夹持组件用于夹持待压印的晶圆，所述夹持组件包括：安装在下型腔腔壁上的支撑座、滑动座、连接座以及夹持座；在所述支撑座上安装有与其转动连接的凸轮；所述滑动座架设于升降环的连接臂的上方，在所述滑动座上设有与凸轮滑动接触的斜坡；所述连接座固定安装于升降环上，且所述连接座上设有通孔；所述滑动座、连接座以及夹持座由外向内依次设置，所述夹持座通过穿过连接座通孔的连接杆与滑动座固定连接，且所述夹持座与连接座之间还安装有弹簧，所述弹簧套设于连接杆上；所述升降驱动机构用于带动升降环升降，且在斜坡和凸轮的相互作用下，使得夹持座能够沿升降环的径向向内或向外移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州光越微纳科技有限公司 下压印承载装置及具有该装置的真空纳米压印设备
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