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申请/专利权人：哈尔滨工业大学
摘要：一种等离子体离子能量分析装置，属于航空航天技术领域，它包含屏蔽栅极、加速栅极、阻滞栅极、收集极、外壳、底板以及固定接线柱；屏蔽栅极、加速栅极、阻滞栅极和收集极由上至下设置于外壳内，收集极设置于底板上，外壳与底板连接，屏蔽栅极、加速栅极和阻滞栅极上分别布置有位置相同的小孔，屏蔽栅极与加速栅极之间、加速栅极与阻滞栅极之间以及阻滞栅极与收集极之间分别设置有绝缘件，底板的底面设有固定接线柱；悬浮栅极配置为被接地；所述加速栅极配置为被施加负电位；所述阻滞栅极配置为被施加扫描电压。本发明离子能量分析装置具有高透明度、宽范围及长寿命的特点。
主权项：1.一种等离子体离子能量分析装置，其特征在于：包含屏蔽栅极1、加速栅极2、阻滞栅极3、收集极4、外壳5、底板9以及固定接线柱10；屏蔽栅极1、加速栅极2、阻滞栅极3和收集极4由上至下设置于外壳5内，收集极4设置于底板9上，外壳与底板9连接，屏蔽栅极1、加速栅极2和阻滞栅极3上分别布置有位置相同的小孔，以用于离子穿过被收集极4接收，屏蔽栅极1与加速栅极2之间、加速栅极2与阻滞栅极3之间以及阻滞栅极3与收集极4之间分别设置有绝缘件，底板9的底面设有固定接线柱10；所述悬浮栅极1配置为被接地，用于屏蔽探针内部电场对外部等离子体的干扰；所述加速栅极2配置为被施加负电位，用于屏蔽电子并提取离子；所述阻滞栅极3配置为被施加扫描电压，用于筛选不同能力的离子。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 哈尔滨工业大学 一种等离子体离子能量分析装置
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