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硅料厚片清洗工装夹具 

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申请/专利权人:宜宾英发德坤科技有限公司

摘要:本发明提供硅料厚片清洗工装夹具,涉及清洗工装夹具技术领域,包括清洗方篮和辅助装置,所述清洗方篮的内壁设有调节装置,所述调节装置包括调节板,所述调节板借助辅助装置与清洗方篮固定连接,所述调节板的两侧均开设有滑动槽,所述滑动槽的内壁滑动连接有两个滑动杆。本发明,在需要对硅料厚片进行酸洗时,可通过调节装置来对硅料厚片进行酸洗,调节装置能批量对多个硅料厚片同步进行酸洗,通过调节装置能提高对硅料厚片进行酸洗的效率,且通过调节装置还能使得多个硅料厚片,能均匀分布在清洗方篮的酸液中间,在清洗过程中能使硅料厚片充分接触酸液,全方位进行酸洗,提高对硅料厚片进行酸洗的酸洗效果。

主权项:1.硅料厚片清洗工装夹具,包括清洗方篮1和辅助装置3,其特征在于:所述清洗方篮1的内壁设有调节装置2,所述调节装置2包括调节板201,所述调节板201借助辅助装置3与清洗方篮1固定连接,所述调节板201的两侧均开设有滑动槽202,所述滑动槽202的内壁滑动连接有两个滑动杆203,所述滑动杆203的圆弧面一端固定连接有两个固定杆204,所述调节板201的内壁滑动连接有两个滑块205,所述滑块205的两侧分别与两个固定杆204固定连接,所述固定板208的内壁两侧均固定连接有两个弹簧206,两个所述弹簧206靠近滑块205的一端固定连接有同一个接触板207,两个所述滑块205远离调节板201的一侧固定连接有同一个固定板208,所述固定板208远离滑块205的侧面两端均固定连接有两个支撑杆209,四个所述支撑杆209远离固定板208的一端固定连接有同一个隔板210,所述隔板210的侧面开设有若干个卡槽211,若干个所述卡槽211均匀分布在隔板210的侧面,所述卡槽211的内壁两侧均固定连接有弹性片213,所述隔板210的侧面两端均开设有调节槽212,所述调节槽212均匀分布在隔板210的侧面,所述调节槽212内壁活动贯穿有连接绳214,所述连接绳214的其中一端与弹性片213固定连接,所述连接绳214的另一端固定连接有拉环215。

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