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申请/专利权人：通快许廷格有限公司

摘要：本发明涉及一种高功率发生器10和一种向容性负载，特别是向等离子体过程提供具有高电压值和或高电流值的脉冲高功率的方法，所述高功率发生器包括：若干低功率发生器14、16、18，每个低功率发生器14、16、18包括储能组件C1、L1，其中，在使用中，所述储能组件C1、L1被充电到与所述储能组件相关的预定值，每个低功率发生器14、16、18在使用中在其输出端提供低功率发生器值，所述低功率发生器值对应于包括在相应的低功率发生器14、16、18中的储能组件C1、C2、Cn、L1、L2、Ln的值，耦合器20，其中，所述低功率发生器14、16、18电连接，使得能够获得对应于高功率发生器10的输出值的耦合器20输出端的耦合值，并且所述耦合值在使用中至少在高功率发生器10的某些状态下高于其中一个低功率发生器14，16，18输出端的低功率发生器值,控制单元22，其配置成能够在所述高功率发生器10的功率传输期间选择低功率发生器14、16、18对高功率发生器10的输出值的贡献，以便在所述耦合器20的输出端产生脉冲的上升和或衰减，所述控制单元22还被配置成能够通过低功率发生器14、16、18按顺序选择低功率发生器14、16、18的贡献，特别是每个脉冲序列都从不同的低功率发生器14、16、18开始。

主权项：1.一种高功率发生器10，其配置成能够向容性负载，特别是向等离子体过程传输具有高电压值和或高电流值的脉冲高功率，所述高功率发生器包括：-若干低功率发生器14、16、18，o每个低功率发生器14、16、18包括储能组件C1、L1，其中，在使用中，所述储能组件C1、L1被充电到与所述储能组件相关的预定值，o每个低功率发生器14、16、18在使用中在其输出端提供低功率发生器值，所述低功率发生器值对应于包括在相应的低功率发生器14、16、18中的储能组件C1、C2、Cn、L1、L2、Ln的值，-耦合器20，其中，所述低功率发生器14、16、18电连接，使得能够获得对应于高功率发生器10的输出值的耦合器20输出端的耦合值，并且所述耦合值在使用中至少在高功率发生器10的某些状态下高于其中一个低功率发生器14，16，18输出端的低功率发生器值,-控制单元22，其配置成能够在所述高功率发生器10的功率传输期间选择低功率发生器14、16、18对高功率发生器10的输出值的贡献，以便在所述耦合器20的输出端产生脉冲的上升和或衰减，-所述控制单元22还被配置成能够通过低功率发生器14、16、18按顺序选择低功率发生器14、16、18的贡献，其中至少一个脉冲序列使用与前一个不同的低功率发生器14、16、18的贡献或从不同于前一个低功率发生器14、16、18的低功率发生器14、16、18开始。

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