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申请/专利权人：东北大学
摘要：本发明公开了一种镀材蒸气空间分布自调节蒸发舟，所述蒸发舟包括蒸发舟基体、保温层、热电器件、水冷围板、储能装置、膜厚监测装置、高度监测装置、控制模块、高度调节装置，其中水冷围板、热电器件、保温层、蒸发舟基体为分体式结构且一一对应，依次由外向内逐层分布。本发明所述热电器件可利用保温层与水冷围板之间的温差产生电能，储存在储能装置中，用于驱动膜厚监测装置、高度监测装置、控制模块、高度调节装置。当镀膜辊膜厚均匀性误差超出设定值后，控制模块将基于自调节算法，对膜厚数据与距离数据进行分析计算，并将计算结果反馈至高度调节装置，对两端的蒸发舟基体分块进行高度调节，改变镀膜幅宽方向的镀材蒸气空间分布，实现均匀镀膜。
主权项：1.一种镀材蒸气空间分布自调节蒸发舟，其特征在于，该蒸发舟由9部分组成，包括：蒸发舟基体、保温层、热电器件、水冷围板、储能装置、膜厚监测装置、高度监测装置、控制模块、高度调节装置；水冷围板、热电器件、保温层、蒸发舟基体为分体式结构且一一对应，依次由外向内逐层分布；该蒸发舟在使用时按照以下步骤进行：首先向水冷围板通入冷却水，然后进行蒸发舟基体的加热，当保温层与水冷围板之间的温差达到热电器件的工作范围时，热电器件开始工作将热能转化为电能，储存至储能装置中；同时，蒸发舟基体两端和中间位置对应的热电器件分块导热系数不同，使得蒸发舟基体分块散热量不同，可调控蒸发舟基体分块的温度，实现蒸发舟基体温度的均匀分布；在镀膜过程中，膜厚监测装置能实时监测镀膜辊的膜厚数据并将之传递到控制模块，同时高度监测装置将监测到的蒸发舟与镀膜辊的距离数据也传递到控制模块；当镀膜辊膜厚均匀性误差超出设定值后，控制模块将基于自调节算法，对膜厚数据与距离数据进行分析计算，并将计算结果反馈至高度调节装置，对两端的蒸发舟基体分块进行高度调节，改变镀膜幅宽方向的镀材蒸气空间分布，实现均匀镀膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东北大学 一种镀材蒸气空间分布自调节蒸发舟
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