龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：玛特森技术公司;北京屹唐半导体科技股份有限公司
摘要：提供了用于对工件进行硬掩模例如，掺杂硼的非晶碳硬掩模去除工艺的装置、系统和方法。在一个示例实施中，方法包括在处理腔室中，将工件支撑在工件支撑件上。方法可包括使用等离子体源在等离子体腔室中由工艺气体生成等离子体。等离子体腔室可通过隔栅与处理腔室分开。方法可包括将工件暴露于一种或多种在等离子体中生成的自由基以对工件进行等离子体去胶工艺以从工件至少局部去除硬掩模层。方法可包括在等离子体去胶工艺期间，将工件暴露于作为钝化剂的水蒸气。
主权项：1.一种用于处理工件的方法，所述方法包括：在处理腔室中，将工件支撑在工件支撑件上，所述工件包括硬掩模层、一层或多层二氧化硅层以及一层或多层氮化硅层；使用等离子体源在等离子体腔室中由工艺气体生成等离子体，所述工艺气体包括含氟气体；将所述工件暴露于在等离子体中生成的一种或多种自由基，对所述工件进行等离子体去胶工艺，以从工件至少局部去除硬掩模层；和在等离子体去胶工艺期间，将工件暴露于作为钝化剂的水蒸气，其中所述钝化剂减少在等离子体去胶工艺期间所述二氧化硅层和氮化硅层的去除。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 玛特森技术公司 北京屹唐半导体科技股份有限公司 用于去除硬掩模的基于水蒸气的含氟等离子体
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号