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申请/专利权人：北京特思迪半导体设备有限公司
摘要：本申请提供一种游星轮外圈升降闪停装置，涉及半导体加工设备技术领域，包括升降机构以及闪停机构；其中，所述升降机构包括：驱动装置；丝轴，所述驱动装置带动所述丝轴转动；丝母，螺纹连接于所述丝轴的顶部；所述闪停机构包括：活动卡接件，与所述丝轴底部之间设置有卡接结构；固定卡接件，位于所述活动卡接件的上方，能够与所述活动卡接件形成卡接使二者相对固定；传动卡接件，位于所述活动卡接件的下方，能够与所述活动卡接件形成卡接使二者相对固定，所述驱动装置带动所述传动卡接件转动；位移装置，用于带动所述活动卡接件上升或下降。解决了相关技术中升降系统成本高、结构复杂、占用空间大的缺陷。
主权项：1.一种游星轮外圈升降闪停装置，其特征在于，包括：用于带动游星轮外圈沿竖直方向移动的升降机构5以及用于使游星轮外圈瞬间停止升降的闪停机构6；其中，所述升降机构5包括：驱动装置51，用于提供旋转动力；丝轴52，沿竖直方向设置，所述驱动装置51带动所述丝轴52转动，所述丝轴52用于传输所述旋转动力，所述丝轴52顶部的周向侧壁加工有螺纹结构；丝母53，螺纹连接于所述丝轴52的顶部，通过所述丝轴52转动能够使所述丝母53沿竖直方向移动，所述丝母53用于带动游星轮外圈升降；所述闪停机构6包括：活动卡接件61，与所述丝轴52底部之间设置有能够使所述活动卡接件61沿着所述丝轴52的长度方向滑动但无法相对转动卡接结构7；固定卡接件62，位于所述活动卡接件61的上方，能够与所述活动卡接件61形成卡接使二者相对固定，所述固定卡接件62始终处于固定状态；传动卡接件63，位于所述活动卡接件61的下方，能够与所述活动卡接件61形成卡接使二者相对固定，所述驱动装置51带动所述传动卡接件63转动；位移装置64，用于带动所述活动卡接件61上升或下降，当需要使所述驱动装置51带动所述丝轴52转动时，所述位移装置64带动所述活动卡接件61下降，使所述活动卡接件61与所述传动卡接件63卡接固定；当需要使所述丝轴52闪停时，所述位移装置64带动所述活动卡接件61上升，使所述活动卡接件61与所述固定卡接件62卡接固定。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京特思迪半导体设备有限公司 一种游星轮外圈升降闪停装置以及外圈驱动系统
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