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申请/专利权人：北京特思迪半导体设备有限公司
摘要：本申请提供一种游星轮外圈贴带传动装置，涉及半导体加工设备技术领域，包括：主动机构、传动机构和从动机构；其中，所述主动机构用于提供旋转动力；所述传动机构包括主动轮、从动轮以及双面同步带，所述双面同步带的内侧具有内齿结构，外侧具有外齿结构，所述双面同步带环绕于所述主动轮与所述从动轮之间；所述从动机构包括大圈同步带和销齿圈，所述大圈同步带的带齿结构与所述双面同步带的外齿结构相啮合，所述大圈同步带套设于所述销齿圈的外侧并与所述销齿圈固定连接，所述销齿圈以工作台的圆心为转动中心环绕转动于所述工作台的外侧并用于带动游星轮转动。解决了相关技术中游星轮运行不平稳或震动而导致晶圆片的研磨抛光质量下降、甚至造成晶圆片报废的缺陷。
主权项：1.一种游星轮外圈贴带传动装置，其特征在于，包括：主动机构1、传动机构2和从动机构3；其中，所述主动机构1用于提供旋转动力；所述传动机构2包括主动轮21、从动轮22以及双面同步带23，所述主动机构1用于带动所述主动轮21旋转；所述从动轮22位于所述主动轮21的水平一侧；所述双面同步带23的内侧具有内齿结构，外侧具有外齿结构，所述双面同步带23环绕于所述主动轮21与所述从动轮22之间，所述双面同步带23的内齿结构与所述主动轮21和所述从动轮22相啮合；所述从动机构3包括大圈同步带31和销齿圈32，所述大圈同步带31的周向外壁具有带齿结构，所述大圈同步带31的带齿结构与所述双面同步带23的外齿结构相啮合，所述大圈同步带31套设于所述销齿圈32的外侧并与所述销齿圈32固定连接，所述销齿圈32以机床工作台101的圆心为转动中心环绕转动于所述机床工作台101的外侧并用于带动游星轮102转动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京特思迪半导体设备有限公司 一种游星轮外圈贴带传动装置以及外圈驱动系统
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