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一种X射线荧光光谱仪 

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申请/专利权人:深圳市禾苗分析仪器有限公司

摘要:本发明公开了一种X射线荧光光谱仪,包括:机台,样品台,X射线管发生装置,探测器,摄像头,移载切换装置以及控制装置;样品台水平设置于机台上;X射线管发生装置设置于机台上且位于样品台的正上方,X射线与样品台的上表面垂直,X射线管发生装置包含设置在机台上的射线管外壳,射线管外壳上设有用于供X射线穿过的射线出射口;摄像头连接在射线管外壳的下部;移载切换装置设置于射线管外壳与摄像头之间,用于驱动摄像头相对X射线管发生装置水平运动,进而使摄像头与射线出射口同轴或者错开;控制装置用于接收探测器采集的样品产生的荧光并进行分析;既能避免微距镜头采集的图像信息失真的情况,同时不影响射线管的工作效率。

主权项:1.一种X射线荧光光谱仪,其特征在于包括:机台;样品台(1),所述的样品台(1)水平设置于机台上,用于盛放样品;X射线管发生装置(2),所述的X射线管发生装置(2)设置于机台上且位于样品台(1)的正上方,用于发射X射线照射至所述样品,所述X射线与样品台(1)的上表面垂直,所述的X射线管发生装置(2)包含设置在机台上的射线管外壳(21),所述的射线管外壳(21)上设有用于供X射线穿过的射线出射口(22);探测器(7),所述的探测器(7)设置于机台上且位于样品台(1)侧,用于探测所述样品被X射线照射产生的荧光;摄像头(3),所述的摄像头(3)连接在射线管外壳(21)的下部,用于采集样品的图像信息;移载切换装置(4),所述的移载切换装置(4)包含连接在射线管外壳(21)的下部的固定座(41),所述的固定座(41)上沿水平方向滑动连接有滑动座(42),所述的摄像头(3)连接在滑动座(42)上,所述的滑动座(42)设有用于屏蔽X射线的屏蔽板(5),所述屏蔽板(5)位于摄像头(3)的正上方;所述的移载切换装置(4)设置于射线管外壳(21)与摄像头(3)之间,用于驱动摄像头(3)相对X射线管发生装置(2)水平运动,进而使摄像头(3)与射线出射口(22)同轴或者错开;控制装置,所述的控制装置用于接收探测器(7)采集的样品产生的荧光并进行分析。

全文数据:一种X射线荧光光谱仪【技术领域】本发明涉及精密检测仪器,具体是一种X射线荧光光谱仪。【背景技术】XRF,即X射线荧光光谱分析XRayFluorescence。一台典型的X射线荧光光谱仪缩写为XRF,或XRFS,XRayFluorescenceSpectrometer由激发源X射线管和探测系统构成。X射线管产生入射X射线一次X射线,激发被测样品。受激发的样品中的元素会发射出二次X射线即特征荧光,并且不同的元素所发射出的二次X射线具有特定的能量特性和波长特性。探测系统测量这些放射出来的二次X射线的能量及强度。XRF仪器常配有CCD相机或摄像头,用于观察样品及记录图像。XRF仪器还常配有可在直角坐标系的XYZ三个方向上移动样品的样品台,样品台可由电机带动。摄像头观察样品,将样品台需移动的距离与像素数对应,再将像素数与电机需移动的距离进行换算,以驱动电机带动样品台移动。XRF仪器常见的配置中,射线以一定入射角照射样品或垂直照射样品。当分析微小样品、不平整样品或对样品表面微小区域做分析时,为了使X射线对样品达到最佳的照射效果,通常X射线管的射线出口正对样品,即X射线光束的中心线与样品台垂直,同时X射线管的射线出口与样品台之间的距离通常在10mm~100mm,为此CCD相机的镜头需要采用微距镜头。目前CCD相机的镜头的安装方式有两种:一种是,镜头相对样品倾斜即镜头不是垂直样品的表面,采用该安装方式,使用微距镜头采集的图像信息具有较大的失真;第二种是,在样品与镜头之间设置与水平面大约呈45°角的反光镜即镜头与样品垂直,通过反光镜避免了微距镜头采集的图像信息失真的情况,但是反光镜设置在样品与射线管之间,会挡住一部分射线,降低射线管的效率。本发明即是针对现有技术的不足而研究提出。【发明内容】本发明要解决的技术问题是提供一种X射线荧光光谱仪,既能避免微距镜头采集的图像信息失真的情况,同时不影响射线管的工作效率。为解决上述技术问题,本发明的一种X射线荧光光谱仪,包括:机台,样品台,X射线管发生装置,探测器,摄像头,移载切换装置以及控制装置;所述的样品台水平设置于机台上,用于盛放样品;所述的X射线管发生装置设置于机台上且位于样品台的正上方,用于发射X射线照射至所述样品,所述X射线与样品台的上表面垂直,所述的X射线管发生装置包含设置在机台上的射线管外壳,所述的射线管外壳上设有用于供X射线穿过的射线出射口;所述的探测器设置于机台上且位于样品台侧,用于探测所述样品被X射线照射产生的荧光;所述的摄像头连接在射线管外壳的下部,用于采集样品的图像信息;所述的移载切换装置设置于射线管外壳与摄像头之间,用于驱动摄像头相对X射线管发生装置水平运动,进而使摄像头与射线出射口同轴或者错开;所述的控制装置用于接收探测器采集的样品产生的荧光并进行分析。如上所述的一种X射线荧光光谱仪,所述的移载切换装置包含连接在射线管外壳的下部的固定座,所述的固定座上沿水平方向滑动连接有滑动座,所述的摄像头连接在滑动座上,所述的固定座上还设有用于驱动滑动座相对固定座运动的驱动组件。如上所述的一种X射线荧光光谱仪,所述的驱动组件包含转动连接在固定座上的丝杆,所述的滑动座上设有与丝杆螺纹配合的螺纹孔,所述的固定座上还设有用于驱动丝杆转动进而驱动滑动座相对固定座运动的电机。如上所述的一种X射线荧光光谱仪,所述的滑动座且位于摄像头正上方设有用于屏蔽X射线的屏蔽板。如上所述的一种X射线荧光光谱仪,所述的滑动座且位于摄像头的一侧设有用于减少照射到样品上X射线的光栏,所述的光栏可由可屏蔽X射线的材料制成,且所述的光栏上设有用于供X射线穿过且可与射线出射口正对的光栏孔。与现有技术相比,本发明具有如下优点:1、本发明通过在射线管外壳与摄像头之间设置移载切换装置,当需要使X射线照射样品时,移载切换装置驱动摄像头偏离射线出射口;当需要采集样品的图像信息时,移载切换装置驱动摄像头与射线出射口同轴,使摄像头正对样品;采用本发明的方案,既能避免微距镜头采集的图像信息失真的情况,同时不影响射线管的工作效率。2、本发明将与摄像头通过移载切换装置安装到射线管外壳,具有改装方便的优点,而且占用空间小,不影响正常的检测。3、在滑动座且位于摄像头正上方设有屏蔽板,能屏蔽X射线对摄像头的干扰。4、将光栏设置在滑动座上与摄像头共用同一套驱动装置,能降低成本、简化结构、减少故障点、降低故障率。【附图说明】下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步详细说明,其中:图1为实施例1隐藏机台的结构示意图;图2为实施例1隐藏机台和探测器的结构示意图;图3为图2中标记的A部分的放大图;图4为实施例1隐藏机台和探测器的全剖示意图;图5为图4中标记的B部分的放大图;图6为实施例2隐藏机台和探测器的结构示意图;图7为图6中标记的C部分的放大图;图8为实施例2隐藏机台和探测器的全剖示意图;图9为图8中标记的D部分的放大图。【具体实施方式】下面结合附图对本发明的实施方式作详细说明。实施例1:如图1至图5所示,本实施例的一种X射线荧光光谱仪,包括:机台附图中未示出,样品台1,X射线管发生装置2,探测器7,摄像头3,移载切换装置4以及控制装置;所述的样品台1水平设置于机台上,用于盛放样品;所述的X射线管发生装置2设置于机台上且位于样品台1的正上方,用于发射X射线照射至所述样品,所述X射线与样品台1的上表面垂直,所述的X射线管发生装置2包含设置在机台上的射线管外壳21,所述的射线管外壳21上设有用于供X射线穿过的射线出射口22;所述的探测器7设置于机台上且位于样品台1侧,用于探测所述样品被X射线照射产生的荧光;所述的摄像头3连接在射线管外壳21的下部,用于采集样品的图像信息;所述的移载切换装置4设置于射线管外壳21与摄像头3之间,用于驱动摄像头3相对X射线管发生装置2水平运动,进而使摄像头3与射线出射口22同轴或者错开;所述的控制装置用于接收探测器7采集的样品产生的荧光并进行分析。本发明通过在射线管外壳与摄像头之间设置移载切换装置,当需要使X射线照射样品时,移载切换装置驱动摄像头偏离射线出射口;当需要采集样品的图像信息时,移载切换装置驱动摄像头与射线出射口同轴,使摄像头正对样品;采用本发明的方案,既能避免微距镜头采集的图像信息失真的情况,同时不影响射线管的工作效率。移载切换装置4包含连接在射线管外壳21的下部的固定座41,所述的固定座41上沿水平方向滑动连接有滑动座42,所述的摄像头3连接在滑动座42上,所述的固定座41上还设有用于驱动滑动座42相对固定座41运动的驱动组件43,驱动组件43包含转动连接在固定座41上的丝杆431,所述的滑动座42上设有与丝杆431螺纹配合的螺纹孔,所述的固定座41上还设有用于驱动丝杆431转动进而驱动滑动座42相对固定座41运动的电机432。采用上述机构可以将移载切换装置制作得更加小,避免占用空间。实施2:实施例1中,为了避免摄像头采集样品图像的过程中,X射线对摄像头产生干扰而降低图像质量,采集样品图像的过程需要将X射线管发生装置关闭。如图6至图9所示,本实施例在实施例1的基础上,在滑动座42且位于摄像头3正上方设有用于屏蔽X射线的屏蔽板5,通过屏蔽板5可避免X射线对摄像头产生干扰,因此无需关闭X射线管发生装置。除此之外,为了对照射到样品上的X射线的光量进行控制,在滑动座42且位于摄像头3的一侧设有用于减少照射到样品上X射线的光栏6,光栏6可由可屏蔽X射线的材料制成,且所述的光栏6上设有用于供X射线穿过且可与射线出射口22正对的光栏孔61。将光栏设置在滑动座42上与摄像头共用同一套驱动装置,能降低成本、简化结构、减少故障点、降低故障率。

权利要求:1.一种X射线荧光光谱仪,其特征在于包括:机台;样品台1,所述的样品台1水平设置于机台上,用于盛放样品;X射线管发生装置2,所述的X射线管发生装置2设置于机台上且位于样品台1的正上方,用于发射X射线照射至所述样品,所述X射线与样品台1的上表面垂直,所述的X射线管发生装置2包含设置在机台上的射线管外壳21,所述的射线管外壳21上设有用于供X射线穿过的射线出射口22;探测器7,所述的探测器7设置于机台上且位于样品台1侧,用于探测所述样品被X射线照射产生的荧光;摄像头3,所述的摄像头3连接在射线管外壳21的下部,用于采集样品的图像信息;移载切换装置4,所述的移载切换装置4设置于射线管外壳21与摄像头3之间,用于驱动摄像头3相对X射线管发生装置2水平运动,进而使摄像头3与射线出射口22同轴或者错开;控制装置,所述的控制装置用于接收探测器7采集的样品产生的荧光并进行分析。2.根据权利要求1所述的一种X射线荧光光谱仪,其特征在于所述的移载切换装置4包含连接在射线管外壳21的下部的固定座41,所述的固定座41上沿水平方向滑动连接有滑动座42,所述的摄像头3连接在滑动座42上,所述的固定座41上还设有用于驱动滑动座42相对固定座41运动的驱动组件43。3.根据权利要求2所述的一种X射线荧光光谱仪,其特征在于所述的驱动组件43包含转动连接在固定座41上的丝杆431,所述的滑动座42上设有与丝杆431螺纹配合的螺纹孔,所述的固定座41上还设有用于驱动丝杆431转动进而驱动滑动座42相对固定座41运动的电机432。4.根据权利要求2所述的一种X射线荧光光谱仪,其特征在于所述的滑动座42且位于摄像头3正上方设有用于屏蔽X射线的屏蔽板5。5.根据权利要求2至4任一项所述的一种X射线荧光光谱仪,其特征在于所述的滑动座42且位于摄像头3的一侧设有用于减少照射到样品上X射线的光栏6,所述的光栏6可由可屏蔽X射线的材料制成,且所述的光栏6上设有用于供X射线穿过且可与射线出射口22正对的光栏孔61。

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