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激光照射装置、激光照射方法、收容器及收容体 

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申请/专利权人:株式会社理光

摘要:本发明涉及激光照射装置及其方法,收容器及收容体。其目的在于,以高生产性在基材上形成高品质的图案。制造装置500通过对收容器1的基材1a表面的互不重叠的多个照射区域照射激光,在多个照射区域形成图案11,其包括:多个写入单元,分别包含照射激光的第一写入单元310和第二写入单元320;以及控制装置400,控制第一写入单元310,对包含在多个照射区域的第一照射区域照射激光,但使得激光不照射多个照射区域中的第一照射区域以外的照射区域,同时,控制第二写入单元320,对包含在多个照射区域的第二照射区域照射激光,但使得激光不照射多个照射区域中的第二照射区域以外的照射区域。

主权项:1.一种激光照射装置,通过对基材表面的互不重叠的多个照射区域照射激光,在所述多个照射区域形成图案,其特征在于,包括:多个照射部,分别包含照射激光的第一照射部和第二照射部;以及控制部,控制所述第一照射部,对包含在所述多个照射区域的第一照射区域照射激光,但使得激光不照射所述多个照射区域中的所述第一照射区域以外的照射区域,并且,控制所述第二照射部,对包含在所述多个照射区域的第二照射区域照射激光,但使得激光不照射所述多个照射区域中的所述第二照射区域以外的照射区域,所述基材在表面具有形成所述图案的互不重叠的多个细分区域;所述控制部根据形成在所述细分区域的所述图案的类别,对于所述多个细分区域,决定包含于所述第一照射区域的所述细分区域和包含于所述第二照射区域的所述细分区域。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 株式会社理光 激光照射装置、激光照射方法、收容器及收容体

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