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一种微沟道横截面为圆角矩形的玻璃基微色谱柱 

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申请/专利权人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所

摘要:本发明提供一种微沟道横截面为圆角矩形的玻璃基微色谱柱,在玻璃基底中的微沟道横截面呈圆角矩形结构,这种微沟道具有均匀的“准零流速区”,可使得微色谱柱的固定相涂覆均匀,获得对称度较高的色谱峰,从而更加适合精确定性定量检测;采用飞秒激光或超快激光对预设深度处的玻璃基底进行激光改性并辅助化学湿法刻蚀,可直接在玻璃基底预设深度处制备微沟道,无需采用光刻、DRIE及键合工艺,制备工艺步骤简单,且玻璃本身成本低,可大大降低制造成本,更适合批量生产。

主权项:1.一种微沟道横截面为圆角矩形的玻璃基微色谱柱,其特征在于,所述玻璃基微色谱柱包括:玻璃基底;微沟道,所述微沟道位于所述玻璃基底中,且所述微沟道的横截面呈圆角矩形结构,即矩形端部的转角处呈圆弧状使得所述微沟道具有均匀的“准零流速区”。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种微沟道横截面为圆角矩形的玻璃基微色谱柱

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