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申请/专利权人：合肥芯智华光子科技有限公司
摘要：本发明提供一种气相质子交换铌酸锂光波导的模斑转换器，包括：铌酸锂LN衬底、气相质子交换锥形波导、气相质子交换直波导、阻挡片；气相质子交换锥形波导的波导宽度遵循余弦规律，由宽至窄变化，收窄至与气相质子交换直波导相连，连接处两端波导大小相等；阻挡片位于气相质子交换锥形波导上；本发明提出了一种气相质子交换铌酸锂光波导的模斑转换器，提高了气相质子交换波导与单模光纤的耦合效率。
主权项：1.一种气相质子交换铌酸锂光波导模斑转换器的制备方法，其特征在于：在清洗好的铌酸锂基片上镀上一层Cr掩膜，用光刻工艺根据制作好对应图形结构的掩膜版刻蚀波导区域的掩膜，此时的阻挡片即为Cr圆片，图形对应位置即为露出的铌酸锂表面，将光刻出图形的铌酸锂置于交换炉中进行气相质子交换，气相质子交换方法的反应离子方程式为通过上述流程，交换制备形成模斑转换器，该模斑转换器包括气相质子交换锥形波导2、气相质子交换直波导7，气相质子交换锥形波导2遵循余弦规律由宽至窄收缩，直至与直波导7相连，锥形波导的起始与终止变化处斜率为零，变化终止时波导大小与直波导7相同，所述阻挡片5位于气相质子交换锥形波导2表面上，形状为圆形或正方形等对称图形。
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权利要求：
百度查询： 合肥芯智华光子科技有限公司 一种气相质子交换铌酸锂光波导模斑转换器的制备方法
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