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申请/专利权人：苏州普瑞斯通智能科技有限公司
摘要：本实用新型属于测量仪领域，具体涉及一种用于半导体晶圆的接触角测量仪，包括支撑平台，所述支撑平台的顶部通过螺丝固定连接有支撑架，所述支撑架的内部固定连接有相机安装架，所述相机安装架上安装有检测相机，所述支撑架的顶部设置有水箱，所述支撑架的底部通过螺丝固定连接有滴管固定架，通过被动转盘和联动转盘等结构的设置，在进行检测时候，通过启动双头电机，带动三角转盘进行转动，从而使得三个波长不同的背光源发出亮光从而进行不同波长下的检测，直至三角转盘转动一圈之后，拨块才会带动负压吸盘进行转动，实现角度的切换，进行下一角度的切换，从而提高了检测效果。
主权项：1.一种用于半导体晶圆的接触角测量仪，包括支撑平台1，其特征在于：所述支撑平台1的顶部通过螺丝固定连接有支撑架4，所述支撑架4的内部固定连接有相机安装架5，所述相机安装架5上安装有检测相机6，所述支撑架4的顶部设置有水箱7，所述支撑架4的底部通过螺丝固定连接有滴管固定架8，所述滴管固定架8的内部固定连接有滴液管9，所述滴液管9和所述水箱7相连通；所述支撑平台1的顶部通过螺丝固定连接有灯架3，所述灯架3的内部安装有双头电机17，所述双头电机17的两个输出端分别通过联轴器固定连接有同轴设置的主动转轴16，所述主动转轴16的外周面上固定套设有三角转盘18，所述三角转盘18的顶部安装有三个呈圆形阵列均布的背光源19；所述支撑平台1的顶部通过螺丝固定连接有晶圆放置架2，所述晶圆放置架2的内部转动安装有被动转轴11，所述被动转轴11的外周面上分别固定套设有负压吸盘10和被动转盘12；所述支撑平台1的内部转动安装有联动转轴13，所述联动转轴13的外周面上固定套设有联动转盘14，所述联动转轴13和所述被动转轴11的外周面上共同套设有同步带15。
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百度查询： 苏州普瑞斯通智能科技有限公司 一种用于半导体晶圆的接触角测量仪
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