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申请/专利权人：合肥新汇成微电子股份有限公司
摘要：本实用新型公开了一种探针台测试机光源支架装置，涉及晶圆加工设备技术领域，包括主体机架，所述主体机架采用铝合金型材焊接成型，所述铝合金型材上设置有型材腔，还包括支架部件和灯头，所述支架部件安装在主体机架上，所述灯头安装在支架部件上；所述支架部件包括：型腔滑块，其与型材腔相配合且滑动设置在型材腔内；滑块连板，其与型腔滑块相连，所述滑块连板上固定设置有用于安装灯头的安装板；滑块连接件，其用于连接型腔滑块和滑块连板；本实用新型采用与型材腔相配合的支架部件实现对灯头的安装，无需在主体机架上开孔，直接利用主体机架型材上的孔腔即可完成安装，安装方便且稳定性好，不会发生光源损坏脱落的问题。
主权项：1.一种探针台测试机光源支架装置，包括主体机架1，所述主体机架1采用铝合金型材焊接成型，所述铝合金型材上设置有型材腔101，其特征在于，还包括支架部件3和灯头11，所述支架部件3安装在主体机架1上，所述灯头11安装在支架部件3上；所述支架部件3包括：型腔滑块4，其与型材腔101相配合且滑动设置在型材腔101内；滑块连板5，其与型腔滑块4相连，所述滑块连板5上固定设置有用于安装灯头11的安装板7；滑块连接件6，其用于连接型腔滑块4和滑块连板5。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥新汇成微电子股份有限公司 一种探针台测试机光源支架装置
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