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申请/专利权人：南通宏德储能科技有限公司;杭州宏德储能科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种晶圆清洗高纯水高效率加热装置，涉及加热技术领域，包括若干清洗池，每个清洗池上均设置有药水流入管、热水流入管、冷水流入管以及排水管，若干药水流入管均接入药水箱，若干冷水流入管均接入RO水箱。RO水箱流出的一部分冷水经过储能加热组件加热后流入清洗池中，然后药水箱中药水经过药水流入管排入清洗池中，每个清洗池内设置温度传感器，通过传感器检测每个清洗池的温度，在检测出到某一清洗池的温度较高，RO水箱流入的冷水经过冷水流入管排入对应的清洗池，完成温度的调整。采用的换能液换热效率更高，壳加热部件从外向内加热，内加热部件从内向外加热，通过内外加热，实现加速物温提升效率。
主权项：1.一种晶圆清洗高纯水高效率加热装置，其特征在于：包括若干清洗池1，每个清洗池1上均设置有药水流入管2、热水流入管3、冷水管4以及排水管5，若干药水流入管2均接入药水箱6，若干冷水管4均接入RO水箱7，若干排水管5均接入收集槽中；若干所述热水流入管3和RO水箱7与储能加热组件8连接。
全文数据：
权利要求：
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