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申请/专利权人：日本碍子株式会社
摘要：本发明提供耐久性优异的复合基板。本发明的实施方式所涉及的复合基板按以下顺序具有：压电层；反射层，其包括含有氧化硅的低阻抗层及高阻抗层；以及支撑基板，所述低阻抗层的密度为2.4gcm3以下，在所述高阻抗层形成有非晶质区域。
主权项：1.一种复合基板，其中，按以下顺序具备：压电层；反射层，该反射层包括高阻抗层及含有氧化硅的低阻抗层；以及支撑基板，所述低阻抗层的密度为2.4gcm3以下，在所述高阻抗层形成有非晶质区域。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日本碍子株式会社 复合基板、弹性表面波元件以及复合基板的制造方法
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