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申请/专利权人：中国原子能科学研究院

摘要：本发明公开了一种超薄钛膜的真空密封方法，包括以下步骤：将压紧环放进环形压紧槽内，并用拉紧螺钉将压紧环固定；将压紧密封圈放到大法兰的第二环形凹槽中；将超薄钛膜放到大法兰的第一环形凹槽中；用压紧法兰螺钉将压紧法兰和大法兰固定，固定以后，环形压紧槽上的第一环形压紧凸台将超薄钛膜靠近中心的位置压住，压住的同时，环形压紧槽内的压紧环与压紧密封圈非接触；用压紧环将压紧密封圈压紧，从而形成真空密封。本发明通过在传统的压紧法兰上增加了一个环形压紧槽和压紧环，并巧妙地利用了对压紧环先固定再释放的方法，解决了超薄钛膜机械强度差容易发生褶皱的问题，还解决了在大法兰上焊接超薄钛膜，使得成本较高，加工工期较长的问题。

主权项：1.一种超薄钛膜的真空密封方法，该方法基于一种超薄钛膜的真空密封装置，该装置沿束流射入方向顺序设有：大法兰1、以及压紧法兰3；大法兰1的外端面用于连接束流管道11，大法兰1的内端面用于安装压紧密封圈4和超薄钛膜2；压紧法兰3用于将大法兰1上的压紧密封圈4和超薄钛膜2压紧和密封；在压紧法兰3与压紧密封圈4相对的一面嵌入一个压紧环7，该压紧环7布设在压紧法兰3的环形压紧槽3-1内，该环形压紧槽3-1靠近中心处设有一个第一环形压紧凸台3-2，该第一环形压紧凸台3-2高出环形压紧环7上的其它面，在拧紧压紧法兰3时，第一环形压紧凸台3-2首先压住超薄钛膜2靠近中心的位置，再用压紧环7将压紧密封圈4压紧；所述大法兰1的内端面用于安装压紧密封圈4和超薄钛膜2，具体为：该大法兰1的内端面上设有靠近大半径处的第一环形凹槽1-1和靠近小半径处的第二环形凹槽1-2，第一环形凹槽1-1用于布设超薄钛膜2，第二环形凹槽1-2用于布设压紧密封圈4。所述在压紧法兰3与压紧密封圈4相对的一面嵌入一个压紧环7，具体为：在压紧法兰3的内端面上设有一个环形压紧槽3-1、以及嵌入在环形压紧槽3-1内的压紧环7；环形压紧槽3-1内径和外径的高度不同，内径的高度大于外径的高度、外径的高度又大于压紧法兰3最外圈螺纹孔的高度；压紧法兰3内端面上与环形压紧槽3-1内径等高度的平面形成第一环形压紧凸台3-2；压紧法兰3内端面上与压紧槽3-1外径等高度的平面形成第二环形压紧凸台3-6；该第一环形压紧凸台3-2用于将超薄钛膜2靠近中心的位置压住。所述用压紧环7将压紧密封圈4压紧，具体为：压紧法兰3上压紧环7的径向位置与大法兰1上压紧密封圈4的径向位置相匹配，从而用压紧环7将压紧密封圈4压紧。所述第一环形压紧凸台3-2用于将超薄钛膜2靠近中心的位置压住，该靠近中心的位置即是超薄钛膜2位于压紧密封圈4内侧的中心区位置。所述压紧法兰3的外端面设有顶紧螺钉8、拉紧螺钉9、以及压紧法兰螺钉5；拉紧螺钉9用于固定压紧环7，顶紧螺钉8用于在拉紧螺钉9被拆卸下来以后将压紧环7压住压紧密封圈4；压紧法兰螺钉5用于将压紧法兰3和大法兰1固定。其特征在于,该方法包括以下步骤：步骤一、将压紧环7放进环形压紧槽3-1内，并用拉紧螺钉9将压紧环7固定；步骤二、将压紧密封圈4放到大法兰1的第二环形凹槽中；步骤三、将超薄钛膜2放到大法兰1的第一环形凹槽中；步骤四、用压紧法兰螺钉5将压紧法兰3和大法兰1固定，固定以后，环形压紧槽3-1上的第一环形压紧凸台3-2将超薄钛膜2靠近中心的位置压住，压住的同时，环形压紧槽3-1内的压紧环7与压紧密封圈4非接触；步骤五、用压紧环7将压紧密封圈4压紧，从而形成真空密封。

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