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申请/专利权人：云南省贵金属新材料控股集团股份有限公司;云南贵金属实验室有限公司;昆明贵研新材料科技有限公司
摘要：本发明公开了一种高纯钌基合金靶材的制备方法，属于钌基合金靶材的制备技术领域。所述制备方法包括如下步骤：将氯钌酸铵和其他合金化元素球形颗粒钽、铬、钨进行球磨处理，使得氯钌酸铵包覆在合金化元素球形颗粒表面，有利于降低真空热压烧结温度并提高钌基合金靶材的致密度；接着将氯钌酸铵包覆合金化元素的复合粉末进行煅烧及还原处理，有利于调控钌基合金靶材的微观结构；最后将包含纯钌和合金颗粒的复合粉末进行真空热压烧结，得到钌基合金靶材坯料。本发明实现了对于高纯钌基合金靶材致密度的提高和微观结构的有效调控，降低了制备工艺复杂程度及成本，所制备的钌基合金靶材的服役性能得到了改善。
主权项：1.一种高纯钌基合金靶材的制备方法，其特征在于：所述方法具体包括以下步骤：1将氯钌酸铵和合金化元素球形颗粒进行球磨处理，使得氯钌酸铵包覆在合金化元素球形颗粒表面得到复合粉末；2将步骤1得到的复合粉末进行煅烧及还原处理；3将步骤2处理过的复合粉末进行真空热压烧结，得到钌基合金靶材。
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