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申请/专利权人：国鲸科技(广东横琴粤澳深度合作区)有限公司
摘要：本发明涉及发光面板加工技术领域，且公开了一种有机发光面板的基板刻蚀装置，包括基板、干燥处理箱、刻蚀处理箱，所述干燥处理箱的前端铰接连接有防护门，所述干燥处理箱的一侧与刻蚀处理箱的一侧连接，且干燥处理箱的一侧与刻蚀处理箱的一侧之间设置有用于隔离空间的自动隔离组件，所述刻蚀处理箱的内部套装有刻蚀移动平台、自动行进组件、两个喷淋管件、双向传动组件。该有机发光面板的基板刻蚀装置，通过设置的两个喷淋管件、双向传动组件、伺服电机组成自动往复喷淋机构，与设置的泵输装置组合使用后，能够满足对刻蚀移动平台支撑的基板的均匀往复、全面的喷淋刻蚀，解决现有技术存在的问题。
主权项：1.一种有机发光面板的基板刻蚀装置，包括基板（1）、干燥处理箱（2）、刻蚀处理箱（3），所述干燥处理箱（2）的前端铰接连接有防护门（15），其特征在于：所述干燥处理箱（2）的一侧与刻蚀处理箱（3）的一侧连接，且干燥处理箱（2）的一侧与刻蚀处理箱（3）的一侧之间设置有用于隔离空间的自动隔离组件（4），所述刻蚀处理箱（3）的内部套装有刻蚀移动平台（5）、自动行进组件（6）、两个喷淋管件（7）、双向传动组件（8），所述刻蚀移动平台（5）的底部滑动连接有固定套接在刻蚀处理箱（3）底部内侧的支撑轨板，所述干燥处理箱（2）的底部内侧固定套接有与支撑轨板对齐的辅助轨台（14），所述自动行进组件（6）的输出结构与刻蚀移动平台（5）的一侧传动连接；所述基板（1）放置在刻蚀移动平台（5）的顶面，两个所述喷淋管件（7）分别与刻蚀移动平台（5）顶部两侧的外部并再分别与双向传动组件（8）内部的两个输出结构传动连接，且其中一个喷淋管件（7）的两端和中部均安装有复合检测组件（9），所述双向传动组件（8）的顶部结构贯穿刻蚀处理箱（3）的顶部结构并传动连接有伺服电机（13），所述刻蚀处理箱（3）的底部设置有泵输装置，所述泵输装置内设置有两个输出端，且泵输装置的两个输出端贯穿刻蚀处理箱（3）的底部并再分别与两个喷淋管件（7）连接。
全文数据：
权利要求：
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