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申请/专利权人:中国科学院上海高等研究院
摘要:本发明涉及一种同步辐射单色器晶体的双轴调节机构,晶体组件与过渡底板固定并通过过渡底板与内框架连接,过渡底板和内框架通过一对柔性回转铰链实现绕第一回转轴转动,内框架和外框架通过另一对柔性回转铰链实现绕第二回转轴转动,第一回转轴和第二回转轴正交,每对柔性回转铰链配置一套驱动机构,每套驱动机构包括双驱动电机以允许晶体组件沿正交的第一回转轴和第二回转轴精密转动。根据本发明的同步辐射单色器晶体的双轴调节机构,采用双框架式支撑结构,双驱动电机推动柔性铰链回转,有效提高系统的比刚度,实现高精度和高动态响应。
主权项:1.一种同步辐射单色器晶体的双轴调节机构,其特征在于,该双轴调节机构包括过渡底板、内框架、两对柔性回转铰链、外框架、晶体组件和驱动机构,其中,晶体组件与过渡底板固定并通过过渡底板与内框架连接,过渡底板和内框架通过一对柔性回转铰链实现绕第一回转轴转动,内框架和外框架通过另一对柔性回转铰链实现绕第二回转轴转动,第一回转轴和第二回转轴正交,每对柔性回转铰链配置一套驱动机构,每套驱动机构包括双驱动电机以允许晶体组件沿正交的第一回转轴和第二回转轴精密转动。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 中国科学院上海高等研究院 一种同步辐射单色器晶体的双轴调节机构
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