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申请/专利权人：安徽酷熠电磁科技有限公司

摘要：本发明公开了一种空气微波等离子体射流表面处理装置，包括微波电源、圆柱形同轴谐振腔，微波电源和圆柱形同轴谐振腔通过同轴线连接，微波电源包括调幅整流滤波器、IGBT驱动信号模块、ZVS模块、高频脉冲高压包、降压变压器、灯丝电源、磁控管、工频交流电模块和交流调压器，圆柱形同轴谐振腔包括导体高度调节圈、导体高度调节冒、同轴线接头、通气孔、气体通入接口、导体固定座、同轴谐振腔内导体、导体柱形套，本发明明显提高表面活性、增加附着效果，节能环保、运行成本低、操作方便，特别对提高材料表面亲水性效果显著,在保证放电强度的同时也便于调节空气等离子体的温度，使空气等离子体的适用范围增加，克服了等离子体作用单一的缺陷。

主权项：1.一种空气微波等离子体射流表面处理装置，包括微波电源（1）、圆柱形同轴谐振腔（2），微波电源（1）和圆柱形同轴谐振腔（2）通过同轴线连接，其特征在于，所述微波电源（1）包括调幅整流滤波器（101）、IGBT驱动信号模块（102）、ZVS模块（103）、高频脉冲高压包（104）、降压变压器（105）、灯丝电源（106）、磁控管（107）、工频交流电模块（108）和交流调压器（109），IGBT驱动信号模块（102）的信号输出端连接三极管的集电极，调幅整流滤波器（101）的输出端连接三极管的集电极，三极管的发射极连接到ZVS模块（103）的信号输入端，ZVS模块（103）与高频脉冲高压包（104）电性连接，高频脉冲高压包（104）与磁控管（107）的第一个端口电性连接，所述调幅整流滤波器（101）还与工频交流电模块（108）电性连接，工频交流电模块（108）与降压变压器（105）电性连接，降压变压器（105）与交流调压器（109）电性连接，交流调压器（109）与灯丝电源（106）电性连接，灯丝电源（106）还与磁控管（107）的第二个端口电性连接，磁控管（107）的外壳接地；所述圆柱形同轴谐振腔（2）包括导体高度调节圈（201）、导体高度调节冒（202）、同轴线接头（203）、通气孔（204）、气体通入接口（205）、导体固定座（206）、同轴谐振腔内导体（207）、导体柱形套（208），所述导体固定座（206）的底端中央固定设置导体柱形套（208），导体柱形套（208）的外部通过螺纹旋接导体高度调节冒（202），所述导体柱形套（208）的中央空腔内滑动安装同轴谐振腔内导体（207），同轴谐振腔内导体（207）的上端向导体固定座（206）的上端延伸，所述导体固定座（206）的上端内沿通过螺纹旋接导体高度调节圈（201），所述导体固定座（206）的侧面开设有通气孔（204），通气孔（204）连接气体通入接口（205），导体固定座（206）的侧面还设有同轴线接头（203），所述同轴线为镍铜合金金属丝，同轴线在同轴线接头（203）内呈倒L型环耦合结构，所述圆柱形同轴谐振腔（2）一端为载气输入端口，另一端为等离子体射流工作区域，所述等离子体射流呈火焰状，空气微波等离子体射流表面处理装置还包括微波电源（1）和矩形同轴谐振腔（3），矩形同轴谐振腔（3）包括圆柱形金属内导体（301）和矩形谐振腔（302），圆柱形金属内导体（301）在矩形谐振腔（302）横向排列。

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